中古 SEMITOOL ST 840 #293621586 を販売中
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SEMITOOL ST 840は、エレクトロニクスから医療機器製造まで、幅広い業界の材料加工に使用されるフォトレジスト機器です。このシステムは、高度な自動パターニング、イメージング、アライメント機能を備えた最新のフォトリソグラフィ技術に基づいています。ST 840は、幅広い用途に適したウェット加工とドライ加工の両方に使用できるように設計されています。複雑なパターンと高精度のデバイスのコスト効率の高い生産を可能にします。このユニットには、基板の位置決めとパターン投影のための統合されたシングルアパーチャ、グローバルアスペクト比アライナーが装備されています。アライナーは、使いやすさ、アライメント精度、安定性を考慮して設計されています。自動パターニングとイメージング機能を提供し、基板の周りの複数の場所に移動する柔軟性を提供します。このマシンは、誘電体、導体、フォトレジストタイプなど、幅広い材料を露出させることができる堅牢で柔軟な露出チャンバー設計を備えています。このツールは、1umまでの再現性と0。5umまでのドリフトフリー動作を備えた高トルクx、 y、 zステージを備えています。高度な自動露出ソフトウェアパッケージにより、露出精度と再現性が保証されます。SEMITOOL ST 840は、オートフォーカスのアライメント、高解像度画像キャプチャ、フラットネス制御、OCRジグ認識など、さまざまな自動化機能を採用しています。これらの自動化されたシステムは、スムーズな動作を保証し、必要なパターンが毎回正確に生成されるようにします。フォトレジストアセットは、リアルタイムの監視、レポート、インシデント分析を提供する集中データベースに接続されています。このモデルはまた、お客様がメモリデータベースにアクセスし、その精度を確認するための安全なオンライン環境を提供します。露出時間とプロセスの複雑さを軽減するために、高度なオートメーション加速技術が採用されています。この装置は、既存のフォトリソグラフィープロセスに簡単に統合できるように設計されており、セルフモニタリングと自己診断を行い、サービスとメンテナンスを迅速かつ簡単にします。要約すると、ST 840フォトレジストシステムは、幅広い材料の処理に適した高度な自動化ユニットです。オートフォーカスアライメントやOCRジグ認識などの自動化された機能で構築されており、露出とパターンの信頼性と正確性を実現しています。一元化されたデータベースとセルフモニタリング機能により、さらに利便性が向上し、高トルクx、 y、 zステージでは、高い精度と再現性を備えた基板周りの複数の場所に移動できます。
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