中古 SEMITOOL ST-480 #9156435 を販売中

SEMITOOL ST-480は、さまざまな産業および学術用途での使用に適したフォトレジスト加工装置です。このシステムは、フォトレジスト材料の開発、加工、特性評価のためのさまざまな統合コンポーネントを提供します。このユニットは、フォトレジスト処理中に正確な移動と位置決めを保証する自動ロボット輸送機構で構成されています。その精密モーションコントローラは、正確な再現性により、複数のプロセス間で再現可能な結果を保証します。さらに、ロボットは、所望の出力に必要な温度と速度を自動的に調整するようにプログラムされています。この機械の開発および加工能力には、フィルムや特定の厚さの層を作成するためのさまざまなレジストタイプが含まれています。それは基質にフォトレジストを均等にそして正確に導入するのに回転コーティングプロセスを使用します。一方、プロセスステーションには基板クランプとオートストップが装備されており、基板を過剰処理から保護します。評価ステーションには、プロセス結果の品質と精度を評価するためのさまざまなイメージングおよび分析コンポーネントが含まれています。フォトレジスト層の微小粗度と均一性を測定するための表面プロファイル計と、材料の光学特性を測定するための分光光度計を備えています。統合された光学顕微鏡コンポーネントは、プロセス結果を可視化するのに最適です。この包括的なフォトレジストツールを使用すると、ユーザーはレイヤーを作成および分析するためのフォトレジストプロセスをカスタマイズすることができます。ST-480のモジュール設計と統合コンポーネントにより、信頼性の高い再現性で高精度なフォトレジストプロセスを実行できます。