中古 SEMITOOL ST 470 #9207419 を販売中

SEMITOOL ST 470は、高精度なコーティング、開発、剥離サービスの幅広い範囲を提供するように設計された強力でフル機能のフォトレジスト機器です。このシステムは、剛性と柔軟性の両方の基板上で製造するファブに最適です。ST 470には、走査型電子顕微鏡（SEM）、フォトレジストコーター、統合プリカーソルユニット、スピンプロセッサが搭載されており、フォトリソグラフィープロセスの最適な制御と精度を実現しています。この機械のSEMにより、試料表面を非常に詳細に検査することができ、フォトマスクの形状、サイズ、およびその他の処理パラメータを動的に制御できます。これは、半導体デバイス、基板、フォトマスク間の正確なインターフェースを確保するために使用されます。高解像度の光学顕微鏡は、基板平坦性を容易に決定するだけでなく、フォトリソグラフィの成功の迅速な診断と検証を提供することもできます。統合されたプリカーソルツールは、フォトレジストまたは開発者を正確に提供し、開発時間とプロセスの両方をより正確に制御できます。この資産には、化学物質の内部貯蔵庫と、時間の節約と廃棄物の削減に使用される液体の量を追跡するスマートチップが含まれています。さらに、SC 470は、スピンプロセッサと自動開発機の両方を保有しており、試料全体に開発者ソリューションを自動的に提供しています。これにより、開発時間が常に一貫しており、均一な結果を得るために正確であることが保証されます。SEMITOOL ST 470は、高精度のホットプレートも内蔵しており、レジストフィルムの最適な性能を得るために、正確な温度調整を可能にします。ホットプレートは、モデルの統合された空冷と連動して、高精度な温度制御を提供し、困難な基板でも正確なプロセスと膜厚制御を可能にします。また、ウェーハの移動を自動化し、時間と労力を節約するFOUP負荷/アンロードシステムを採用しています。FOUP負荷/アンロードユニットには、各グループ内のウェーハ位置を自動監視および保存するための統合センサーを備えた組織化されたウェーハトレイが装備されています。ST 470は、すべてのフォトリソグラフィープロセスの優れた精度と制御を提供する高度なフォトレジストマシンです。さまざまな機能を備えたこのツールは、あらゆるサイズの薄膜半導体デバイスに対してより効率的で反復可能な処理を提供します。