中古 SEMITOOL ST 270D #9383156 を販売中

SEMITOOL ST 270Dフォトレジスト装置は、さまざまな基板にフォトレジスト材料の薄い層を適用するために使用される自動ウェットベンチ装置です。このシステムは、シリコン、石英、ガラス、セラミックなどの多数の基板を正確かつ正確に処理するように設計されています。ST 270Dには、プログラム可能な自己完結型スプレーヤー、オートツールチェンジャー、超精密段階、使いやすいヒューマンマシンインターフェイス（HMI）、大気圧制御ユニットなど、さまざまな機能が付属しています。基板の向きに関係なく、フォトレジスト素材に高い精度でスプレーするために使用される自己完結型スプレーアームを装備しています。これは、スプレーアームを動かすために使用される高速、高周波ドライブモータによって可能になります。圧力スプレーヤーは材料を基質の全表面に均等に広げるように設計されています。SEMITOOL ST 270Dには、チャンバー内の化学物質の圧力を調節するために使用される大気圧力制御ツールが装備されています。これは、フォトレジスト材料の精密噴霧に不可欠であり、圧力レベルを高速に変化させることなくフォトレジスト材料を適用する際に、より高い精度を可能にします。さらに、ST 270Dには、複数の基板を処理するための超精密段階が付属しています。これは、エアベアリングとリニアシャフトを使用することによって実現されます。つまり、ステージは非常に正確な動きが可能であり、フォトレジスト材料の正確な処理に不可欠です。SEMITOOL ST 270Dには、アセットの制御に使用される使いやすいHuman-Machine Interface （HMI）も装備されています。これにより、オペレータはモデルの機能を制御するだけでなく、さまざまなプロセスサイクルとプログラムを迅速かつ簡単に設定することができます。最後に、オートツールチェンジャーは、高精度でさまざまなツールを変更することができます。これにより、スピナー、ノズル、ポリッシュヘッドなどのプロセスツールをすばやく切り替えることができ、基板を非常に高速に処理することができます。ST 270Dは、さまざまな基板を正確かつ正確に処理するために設計された高性能フォトレジスト装置で、処理速度と品質を向上させるために設計された多くの機能が付属しています。