中古 SEMITOOL ST 270D #9246163 を販売中

SEMITOOL ST 270Dは、ウェハフォトマスク加工の最高レベルの精度を提供するように設計されたフォトレジスト機器です。このシステムは、3次元軸位置の範囲内で様々な基板を配置し、移動する能力を持つ6軸ユニットです。最大50個のウエハカセット容量を持ち、100〜200mmのウエハ径に対応できます。また、表面活性化、アッシング、エッチングをサポートするさまざまなプラズマ源を備えています。ST 270Dは、コーティング、露出、および開発を含むフォトリソグラフィのステップを実行することができます。ポジティブ、ネガティブ、デュアルトーンレジストなど様々なフォトレジストをサポートし、乾燥、深紫外線（365〜375ナノメートルの波長）、Iライン （365〜410ナノメートルの波長）など、さまざまな波長で動作できます。さらに、このツールは、スピンオン蒸着、マスク蒸発、および高度なドライエッチング方法もサポートします。この資産は、フォトレジストが露出前に完全に汚染物質がないことを保証するために、制御可能なイオン洗浄と中性アッシングウェーハが可能です。また、エッチング、酸化、蒸着をサポートするための酸化物エッチングとプラズマ源の配列を提供する高度なエネルギー蒸着制御（EDC）を備えています。また、高精度なモーションモデルを搭載しており、フォトマスクやウェーハをさまざまなサイズに正確に配置することができ、正確なパターニングが可能です。SEMITOOL ST 270D装置には、Lithographicエラーを最小限に抑え、印刷性を向上させるためのルールベースの設計最適化を行うことができる、統合されたOPCワークステーションも備えています。このシステムはさらに、最適な露光変調制御を提供するように設計されたMaskEditソフトウェアを搭載しています。最後に、このユニットは高度な歩留まり解析ツールを提供しており、幅広いソースからのリソグラフィ関連のプロセス変数の識別、定量化、修正に使用できます。