中古 SEMITOOL ST 270D #9211687 を販売中

SEMITOOL ST 270Dは、構造的に正確なマイクロエレクトロニクス部品を製造するために使用される高性能フォトレジスト装置です。このシステムにより、製造メーカーは非常に小さなフットプリントで複雑で複雑な3次元ジオメトリを生成することができます。デジタルリソグラフィとダークフィールドイメージングを利用して、レジストが指定された正確なジオメトリでパターン化されるようにします。ST 270Dのフォトリソグラフィは、フォトリソグラフィ、光電子画像転送（PEIT）、電着、およびその他のマイクロマシニング用途など、さまざまなフォトリソシストプロセスに使用できます。フォトリソグラフィは光を使用して、マスクのデザインを感光材料に転送します。これは、目的の構造またはジオメトリを作成するために使用されます。PEITは、より高速で正確なパターニングを可能にすることにより、ジオメトリのイメージングと精度をさらに向上させます。電着は、高度なアプリケーションで使用するための機械的および電気的特性の範囲で滑らかで欠陥のない表面をもたらします。SEMITOOL ST 270Dは、elektron beam lithography （EML）を使用して3次元マイクロストラクチャーを生成します。この単位は25nm構造への3次元ナノ構造を非常に正確に作り出し、容積をatlargeできます。生産可能な構造は、単にパターンに抵抗するだけではありません。金属、誘電体、複合材料などの他の材料も、EMLプロセスで使用することができます。ST 270Dはまた、機械によって生成された構造またはパターンが正確かつ正確であることを保証するために、ダークフィールドイメージングを利用します。ダークフィールドイメージングは、レジストマスクと基材のコントラストを最大限に引き出し、マスクをパターン化する際の精度を高めます。また、基板全体を一度に表示する必要がなくなり、ツールの精度が向上します。このアセットには、フォトリソグラフィープロセスを簡素化するための多数の統合機能が含まれています。ユーザーインターフェイスを簡単に操作できるだけでなく、フォーカス調整を完全に自動化し、校正モデルを内蔵しています。さらに、統合された診断およびプロセス制御機能、高度なレポート機能、分析機能も提供します。結論として、SEMITOOL ST 270Dは、さまざまなマイクロエレクトロニクス部品の複雑で正確な3次元ジオメトリを生成するために使用できる強力なフォトレジスト機器です。これは、生成されたジオメトリが正確かつ正確であることを確認するために、EML、ダークフィールドイメージング、およびその他の機能を利用しています。このシステムはユーザーフレンドリーであり、フォトリソグラフィープロセスを簡素化するためのさまざまな統合機能を提供しています。