中古 SEMITOOL ST 270D #9166872 を販売中

SEMITOOL ST 270Dは、半導体製造のために設計された自動フォトレジスト装置です。フォトレジストなどのエッチング素材でウエハを素早く正確にパターン化できる先進的な装置です。このシステムは、すべての異なるタイプの基板の効率的で再現性のあるフォトレジスト処理を提供するために、完全に自動化された自己完結型の設計を備えています。ユニットは、モジュール形式で配置された4つのモジュールで構成されています-クリーン、開発者、すすぎ、治癒モジュール。これは、特許取得済みの自己調整、モジュラー電気機械プラットフォームとサブマージアームが装備されており、マシンはさまざまなウェーハサイズとスタイルを処理することができます。さらに、ST 270Dには、1時間あたり最大250枚のウェーハをコーティングできる完全自動分注およびフォトレジストアプリケーションツールがあります。アセットは正と負の両方のフォトレジストを処理することができ、厚層と薄層の両方の堆積をエッチングすることができます。SEMITOOL ST 270Dは、不要な汚染物質を除去するための調整可能な圧力パージノズルと、一貫したコート密度を維持する均一なレジストスプレーモデルを備えています。装置には最大5つの独立したコンピュータコントローラがあり、分配率、硬化パラメータ、プロセスステップタイミングなどのカスタムレシピでプログラムできます。それは一貫した結果を保障するために用具の中の温度、湿気および酸素のレベルを制御することができます。このシステムは自動化されたトラックフィード機能を備えており、幅広い基板サイトや雑誌と互換性があります。さらに、ST 270Dにはイメージングユニットが含まれており、オペレータはプロセスの正確性とデバッグの問題を検証できます。SEMITOOL ST 270Dは、半導体業界のフォトレジスト製造に使用される先進的な機器です。完全に自動化された自己完結型の設計により、調整可能な圧力パージ、均一なレジストスプレー、温度および湿度制御、およびイメージングマシン機能を備えた効率的で再現性のあるフォトレジスト処理が保証されます。