中古 SEMITOOL ST 270 #174250 を販売中

SEMITOOL ST 270は、高度なリソグラフィープロセス用に設計された精密フォトレジスト装置です。高性能な集積回路チップの製造に使用され、ナノメートルスケールの精度でリソグラフィ機能を作成するために必要な厳密な制御を提供します。SEMITOOL ST-270システムは、高精度と再現性のあるフォトレジストを適用する精密ステッパーを備えています。ステッパーには、基板テーブルとウェーハポジショナーの2つのステージがあります。X軸とY軸の2つのステージが移動するため、フォトレジストの成膜において高い精度が得られます。それはまたフォトレジストの適用プロセスの間に異なった大気ガスの導入を可能にするガスコンソールを含んでいます。ウエハポジショナーステージには高解像度カメラを搭載しており、基板とフォトレジスト層を正確にアライメントすることができます。カメラの解像度はミクロン単位で測定され、作業者はすぐに不整合を特定して診断することができます。また、フォトレジストディスペンスバルブを内蔵しており、ウェハ上にフォトレジストを堆積させることができます。このバルブは高精度に設計されており、毎秒最大5ナノメートルの速度でフォトレジストを堆積させることができます。ST 270ツールは拡張可能に設計されており、ユーザーはフォトレジストプロセス中に考慮する必要がある要因の数を増やすことができます。たとえば、ユーザーがフォトレジスト層のアライメント処理で考慮される変数の数を増やしたい場合、追加のカメラまたは2つをアセットに追加できます。全体として、ST-270は堅牢で信頼性の高いフォトレジストモデルであり、最も複雑なリソグラフィープロセスでも信頼性の高い結果を提供できます。高精度・高解像度で、拡張・変更が容易なため、ハイエンドの集積回路チップ製造に最適です。