中古 SEMITOOL ST 260D #9271525 を販売中

SEMITOOL ST 260Dフォトレジスト装置は、ユーザーが高度な半導体デバイスの生産のためのさまざまなプロセスと化学処理を実現することを可能にする多用途に最適な機械です。このシステムは、プロセス/エッチング時間の調整、プラズマ沈着の均一性、マルチソース機能、および互換性のあるプロセス化学物質により、標準的なフォトレジストシステムから際立っています。SEMITOOL ST-260Dは、水平または垂直に最大3つのプロセス化学物質を分配する機能をユーザーに提供します。このマルチソース機能により、ユーザーはプロセスを構成し、シーケンシャルエッチング時間を制御できます。さらに、調整可能なエッチング時間は、高品質のフィルムと仕上げ製品をもたらす複雑なプロセスを可能にします。フィルム特性の均一性を確保するため、周波数チューニングが可能で、プラズマの蒸着速度や組成を調整することができます。これにより、基板全体のプラズマ密度が均一になります。ST 260 Dはまた、完全なプロセス制御と化学物質処理の安全を保証する特別な安全コントローラを備えています。このマシンは、低ガス圧や漏れのユーザーに警告するなどの高度な安全機能を提供するように設計されています。このフォトレジストツールは、ハードウェア面でも基板を簡単に操作できるコンパクトな形状を備えており、ラボでの使用に最適です。441mm x 441mmのトータルフットプリントにより、このマシンはあらゆる限られた環境に適合するように設計されています。また、ドライエキゾーストフィルターモデルの形で追加の安全機能が付属しており、排出された化学物質の液滴形成を低減します。全体として、SEMITOOL ST 260 Dは、高度なプロセスを実現するための強力で包括的なフォトレジスト機器です。その調整可能なエッチング時間、プラズマ蒸着の均一性、および互換性のあるプロセス化学物質により、このシステムはラボベースと産業用の両方のアプリケーションに最適です。安全コントローラ、基板の操作が簡単で、液滴形成が最小限であるため、品質の高い結果が得られます。