中古 SEMITOOL ST 260D #9248753 を販売中
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ID: 9248753
ウェーハサイズ: 4"
Spin Rinse Dryer (SRD), 4"
Single stack
Standalone
TC20 Resistivity meter included.
SEMITOOL ST 260Dは、半導体加工アプリケーションの特定のニーズに対応するように設計されたフル機能のフォトレジスト機器です。このシステムは、一度に最大8つのウェーハを処理することができ、複数のウェーハの処理に必要な時間を最小限に抑える効率的で信頼性の高いスループットを備えています。SEMITOOL ST-260Dには、ウェーハの位置決め用の真空チャックなどの標準的なコアコンポーネントと、ウェーハにフォトレジストフィルムを適用するための調整可能なソース機構が含まれています。部屋に窒素ガスの放出のための特別なパネルが残っているフォトレジストの発煙を散らすためにあります。チャンバー内の温度は、内蔵の温度制御ユニットで一定に保たれます。また、ウェーハを照らすLED光源を内蔵し、フォトレジストフィルムの均一なカバレッジを可能にします。直感的なユーザーインターフェイスにより、各ウェハの露出時間などの露出パラメータを簡単に制御および変更できます。このツールは迅速かつ簡単に校正することができ、正確な結果を保証します。ST 260 Dには、フォトレジスト処理後に自動的にウェーハを洗浄して洗浄する機能もあります。洗浄プロセスは、ウェーハから残留フォトレジストを徹底的に除去するために、高圧配信機構を利用しています。このアセットは、ユーザーの好みに応じて手動で調整できる統合された空気送風機モデルで、ウェーハを社内で乾燥することもできます。さらに、装置は高度な安全機能が装備されています。システムは緊急時に自動的にシャットオフし、ユニットは潜在的な汚染の危険からユーザーを保護するように設計されています。これらの高度な安全機能を使用することで、フォトレジスト加工に最適な結果を保証しながら、安全に使用することができます。全体として、ST-260Dは信頼性が高く効率的なフォトレジストツールであり、半導体加工アプリケーション向けに特別に設計されています。その高度な機能と安全規制は、多くの企業にとって最も優れた選択肢であり、ユーザーフレンドリーなインターフェイスにより、迅速で簡単なカスタマイズと制御が可能です。
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