中古 SEMITOOL ST 260D #9195235 を販売中

SEMITOOL ST 260Dは、幅広い水系、半水系、溶媒系のフォトレジスト材料をカバーするように設計された堅牢なフォトレジスト除去装置です。高度な機械設計により、小型、中型、大型の基板を素早く簡単に剥離するように設計されています。このユニットの設計により、プロセスパラメータを精密に微調整し、さまざまなプロセス要件を満たすことができます。メインプロセスユニットは、連続またはステップインデックスを前方および逆方向で実行できる統合サーボモータと可変速度インデックスによって駆動されます。これにより、温度、時間、圧力などのプロセスパラメータを制御できます。フォトレジスト除去プロセスは、200Wステンレススチールプロセスチャンバーで行われ、複数のシャワーヘッド、循環ポンプ、および発熱体が関与します。これにより、素材を急速に加熱し、均一に硬化し、剥離することができます。加熱され冷却されたジャケットで熱の交換がさらに改善され、プロセスチャンバー内で一貫した温度が得られます。SEMITOOL ST-260Dには、クリーンで反復可能なプロセスを確保するのに役立つ多くのプロセス安全機能があります。これらの機能には、過熱保護、基板高さセンシング、およびプロセス水温制御機が含まれます。これは、フォトレジストや基板への熱衝撃の可能性から保護するだけでなく、プロセスの動作環境を維持するのに役立ちます。プロセス安全機能に加えて、このツールには、全体的な運用コストを削減するためのさまざまな機能が組み込まれています。これらの機能には、試薬消費量の低さ、水使用量の最小化、および1つのプロセスで複数の基板サイズを処理する能力が含まれます。全体として、ST 260 Dは、さまざまなフォトレジスト材料を安全かつ費用対効果の高い方法で一貫して除去できる堅牢な資産です。先進的な設計とプロセス安全機能を備えたこのモデルは、実験室や生産施設で使用するための優れたプラットフォームを提供します。