中古 SEMITOOL ST 260D #131148 を販売中

SEMITOOL ST 260Dは、集積回路（IC）の開発および洗浄に使用されるフォトレジスト加工装置です。これは、優れたフォトレジストのライフサイクル管理を実現するために、ウェットプロセスとプラズマプロセスの両方のために設計されています。オプションのレーザーアライメントにより、レジストマスク画像をIC上に正確に配置するだけでなく、高速基板処理用のデュアルカセット読み込みも可能です。このユニットは、プロセスの精度と均一性にマルチステージロータを使用しており、モジュール式アプローチにより、バルクおよびシングルウェーハ機能を実現しています。調節可能な抵抗機械はさらにプロセス歩留まりおよび制御を改善します。また、グラフィックユーザーインターフェイス（GUI）、タッチスクリーンインターフェイス、センサーベース制御など、機能固有のコンポーネントを備えたオーバーヘッド構造も備えています。高密度に統合されたプロセッサには、レーザーアライメントとデュアルカセットのローディング、最適化されたレジストライフサイクル管理、自動レシピ開発、湿式化学および電気化学機械的研磨プロセス、レーザトリミング、レーザアニーリングが含まれます。調節可能な複数層フォトレジストアーキテクチャは、ウェーハカバレッジとプロセス精度を最適化します。温度制御されたスピン/スプレープロセスは、動作環境への化学的暴露を排除します。負荷/アンロードポートを備えたモジュラー真空アセットにより、高速で低コストの廃棄に抵抗し、化学管理ポートはプロセス制御を改善し、化学物質の露出を抑えます。また、マルチレベルのアクセス制御を提供し、機能横断的なユーザーやベンダーを一元的に制御することで、機器内の通信を迅速かつ効率的に行うことができます。SEMITOOL ST-260Dは高い信頼性、費用効率および使いやすさのために設計されています。フォトレジスト処理のプロセスを簡素化し、メーカーは一貫した製品品質を維持し、拒絶率を低減し、システム歩留まりを最大化することができます。さらに、IC業界に最大限の性能と効率を提供するために、信頼性が高く、慎重に作られているように設計されています。