中古 SEMITOOL ST 260D #105445 を販売中

SEMITOOL ST 260Dフォトレジスト装置は、シリコンや石英など様々な基板上の集積回路をエッチングし、洗浄するためのツールです。SEMITOOL ST-260Dは、スピンヘッド、真空、アブラシオン、クリーニングセクションなど、システムのすべてのコンポーネントに簡単にアクセスできるモジュール設計を備えた高性能スピンコーターです。このユニットは、直径12。7までの大きな基板に対応できるステンレス鋼のスピンヘッドを備えています。これにより、基板を均一かつ連続的に可変速度で回転させることができます。均一で一貫した膜厚を確保するために、スピンヘッドには電動可変スピードコントローラが装備されています。スピン速度は1,800RPMまで設定可能です。基板にフォトレジストを適用するために、ST 260 Dは統合された真空機械を提供します。このツールには、基板の簡単なロードとアンロードのためのユニークなロールインカセットが含まれています。一度ロードされると、基板は真空にさらされ、フォトレジストを表面に描画するのに役立ちます。真空アセットには、キャパシタンスレベル制御が内蔵されています。これにより、基板表面が塗布前に正しく充電されていることが保証され、付着に抵抗する問題を軽減するのに役立ちます。エッチングとクリーニングのために、ST-260Dにはウェットとドライプロセスの両方の機能があります。それは積極的なクリーニングの設定および4つの浸漬のバットが付いている研摩粒子のサイロが装備されています。これにより、基板をエッチングし、より少ない工程で洗浄することができます。このモデルには、自動化されたウェーハ転送装置と、リソースコストとターンアラウンドタイムの削減に役立つプレカルチャチャンバーも含まれています。ST 260Dフォトレジストシステムは、プロセスの柔軟性を最大限に高め、処理コストの削減に貢献するよう設計されています。モジュール式の設計により、ユニットのメンテナンスとアップグレードが容易になり、自動化されたプロセスにより、手作業とエラーを削減できます。幅広い機能と機能を備えたSEMITOOL ST 260 Dは、さまざまなIC製造プロセスに最適なソリューションです。