中古 SEMITOOL ST 2600 #9216873 を販売中

SEMITOOL ST 2600は、300mm生産用のスタンドアロンおよび統合処理用に設計されたフォトレジスト機器です。このシステムは、ダウンタイムを削減するために簡単な修理とメンテナンスのためのモジュラー部品で構築されています。チップスケールパッケージ（CSP）、 SiP、 3Dパッケージングに理想的なソリューションとなるオートメーションと安全機能を備えています。ST 2600は、ナノスケール解像度のマニュアルビームスキャナを備えており、精密なアライメントとトラック露出の再現性は1µm未満です。また、拡張リソグラフィとテスト用の自動アライメントユニットをインストールすることもできます。そのシングルパス露出は、ステンシルマスキング技術で複数のパスによって引き起こされる影を排除します。これにより、従来のマスキング技術の光学的収差によるパターン限界と欠陥収率が大幅に低減されます。SEMITOOL ST 2600マシンの350nm 365nm UVランプは、調整可能なエネルギー出力と高コントラスト分解能を提供し、幅広い形状とサイズのパターンを効率的に露出します。このツールは、高い耐久性と長寿命を誇っています。フォトレジストリッパーは、エッチング時間を短縮し、設備のスループットを向上させます。標準的なノズル構成は回転シャワーの頭部の塗布が付いている均一抵抗のコーティングを可能にします。Nanotechのソフトウェアと統合されたST 2600資産は、プロセス制御、データ収集、製品監視を統合します。その場で膜厚測定に抵抗するための光学および近接計測製品とインタフェースすることができます。さらに、自動化されたモデルには、再現可能な精度のためのインテリジェントなプロセス制御を備えた所定のプログラムがすべて組み込まれています。温度コントローラは、レジストユニット温度を正確に制御します。ユニークで統合されたエアパルス洗浄モードは、プログラムサイクル時間を短縮し、水と溶剤の使用を排除します。SEMITOOL ST 2600は、均一な露出機能を使用して、ウェーハあたり最大8インチの直径ウェーハを最大69インチパターンできます。また、CO2モニタリング装置による空気浄化・リサイクルのための排気にフィルターを組み込むことで、環境安全性にも優れています。結論として、ST 2600は堅牢で信頼性の高いフォトレジストシステムです。メンテナンスが容易で、高い安全性で優れた再現性を有しています。このユニットは、最も経済的に効率的な方法で最高の精度と生産性を提供するために設計されています。