中古 SEMITOOL ST 260 #9170594 を販売中

SEMITOOL ST 260は、半導体産業における非常に複雑なマイクロエレクトロニクス機器の製造に使用されるフォトレジスト機器です。この汎用性の高いシステムは、回転ウェーハステージ、紫外線（UV）洪水源、および紫外線でウェーハ表面を露出するために使用されるレーザープロジェクターで構成されています。ステージは自動化されたソフトウェアによって制御され、ステップアンドリピートなどの高度な技術を使用して複雑なパターンを生成します。SEMITOOL ST-260は専用のレーザーダイオードプロジェクターを使用しており、ウェハ表面の微細なディテールを作成するのに理想的な非常に一貫したビームプロファイルを生成します。このプロジェクターは、さまざまな形状、サイズ、パターンを表示するようにプログラムすることができ、さまざまなレベルの複雑なフォトレジストを作成するように設定することができます。また、UV光に強い特殊素材であるフォトレジストを薄層にコーティングすることが可能です。フォトレジストを適用した後、レーザープロジェクターを使用して、ユーザー定義の形状とサイズでウェーハの表面を紫外線にさらすことができます。紫外線は、細かく調整された長波長-UV洪水源によって生成され、フォトレジストの露出領域を「燃焼」するために必要なエネルギーを提供します。このプロセスにより、ウェーハ表面に複雑なパターンや形状を作成し、フォトレジストのエッチング処理を通じて基材に転送することができます。このプロセスは、ウェーハステージの回転と位置を制御するソフトウェアにより、高精度で正確であり、露出が安定して信頼性が高いことを保証します。ST 260マシンは、複雑なマイクロエレクトロニクスデバイスを製造できる信頼性の高い正確なツールです。操作が簡単で、プロセス機械とうまく統合されているため、シームレスなワークフローが可能です。高精度のレーザーダイオードプロジェクターとUV洪水源を利用することで、精度の高い複雑なパターンを生成することができます。さらに、自動化されたソフトウェアにより、フォトレジストエッチングプロセスの複雑さが大幅に軽減され、一貫した信頼性の高い結果が保証されます。