中古 SEMITOOL ST 240D #131147 を販売中

SEMITOOL ST 240Dは、半導体産業のフォトリソグラフィのニーズに応えるために設計された総合的なフォトレジスト機器です。精密パターニング機能を提供し、エッチング時間を正確に制御できる高度な機能を多数搭載しています。システムの物理的特性には、深さ10インチ/25。4 cmの16。7インチx 16。7インチ/42。6 cm x 42。6 cmチャンバーが含まれます。オリエンテーションステーションを備えており、液体フォトレジストと乾燥フォトレジストの両方で使用でき、さまざまなプロセス要件に最も柔軟性を提供します。また、レジストソリューション用の直接加熱機構を備えており、急速な降下プロファイルとレジスト温度の正確な調整を可能にします。その他にも、最適化された体積と温度制御のための制御可能なガス噴射装置、および再現性とスループットを向上させるために設計された湿度制御ツールがあります。また、フルHD光学、高度なライトマッピング、自動化されたステージ制御などの高度なイメージング技術を使用して、正確なアラインメントとオーバーレイを実現しています。ST 240Dには、光学、レーザー、レーザースキャン、デジタルイメージングなどのさまざまな露光方法、およびレジストの厚さと硬度を正確に制御できる高度なレジスト制御機能など、強力な処理能力も備えています。さらに、このモデルは、組み込み、自動クリーニングステーション、合理化されたシングルステッププロセスサイクル、SMIF、 ARM、 SMCSシステムなどの一般的なオートメーションとの完全な統合など、多くの時間節約機能を提供します。要するに、SEMITOOL ST 240Dは、精密ミクロンスケールパターニング、高スループット、精密エッチングおよびレジスト制御を提供するように設計された強力で汎用性の高いフォトレジスト機器です。ST 240Dは、高度なイメージング技術、柔軟なガス制御、自動洗浄ステーションを備えており、産業用フォトリソグラフィのニーズに最適です。