中古 SEMITOOL ST-2400 #293600511 を販売中

SEMITOOL ST-2400は、半導体デバイス製造用に設計されたフォトレジスト水中装置です。フォトレジストをストレージコンテナからウェーハに転送するための真空ベースのアプローチを利用しています。ST-2400システムは、フォトレジストレベルと温度を制御し、ウェーハ処理中の均一性と精度を確保することができます。このユニットは、フォトレジスト水中でウェーハの動きを駆動するディスペンスバルブとコントローラ、および固定温度を維持するノズル、およびフォトレジスト水中の空気ギャップを除去する真空発生器で構成されています。SEMITOOL ST-2400マシンは、さまざまなフォトレジスト基板構成が可能で、複数の基板を同時に処理できます。接触と非接触の両方のフォトレジスト水中処理に使用でき、さまざまなプロセスレシピを実装できます。さらに、様々なフォトレジスト粘度、温度、水中高さに対応するようにカスタマイズすることができ、ウェーハ全体にわたって均一なフォトレジストのカバレッジを得ることができます。ST-2400ツールには、フォトレジストレベル、温度、水没高さ、およびその他のプロセスパラメータを監視するためのクローズドループプロセス制御が装備されています。さらに、このアセットにはフォルト・リカバリ機能が内蔵されており、モデルのエラーを特定して排除できます。さらに、フォトレジスト層に閉じ込められた気泡を除去する高度な真空化機能を備え、プロセス全体のパフォーマンスを向上させます。この装置は、フォトレジスト、ソリューション、混合物、エマルジョンなどのさまざまな液体と互換性があり、既存のコーティングプロセスとの幅広い互換性を可能にします。さらに、高精度な基板制御と高度なディスペンス技術により、優れたフィルム性能を発揮します。要約すると、SEMITOOL ST-2400は信頼性が高く、堅牢なフォトレジスト水中システムで、精密なプロセス制御、フォルトリカバリ、精密な基板制御、さまざまな液体との互換性など、幅広い高度な機能を提供します。これらの機能は、信頼性の高い性質と組み合わされ、ST-2400は半導体デバイス製造アプリケーションにとって理想的な単位となります。