中古 SEMITOOL ST 240 #293604284 を販売中

SEMITOOL ST 240は、SEMITOOLが半導体デバイス処理およびパッケージングアプリケーション向けに開発したフォトレジスト機器です。このシステムは、パッケージの小さい部品を必要とする今日の集積回路メーカーのニーズに合わせて特別に設計されました。ST 240ユニットは、ウェーハ表面に均一でクリーンなフォトレジスト層を堆積するための信頼性と費用対効果の高い方法を提供します。この機械の主な特徴は、ウェーハに一貫した均一に薄いフォトレジスト層を正確に堆積させることができる高度なスプレー技術です。さらに、密集した領域での層の正確な形成や、回路動作を妨げる可能性のある余分なフォトレジストの除去を可能にします。また、ウェーハ表面の均一性を向上させ、スポットの形成を低減し、余分なフォトレジストを除去するための物理的なスクラブの必要性を排除するデュアルノズル技術を備えています。SEMITOOL ST 240は、さまざまな基板を使用し、耐薬品性のある加圧セラミックヘッドを提供し、効率的で効果的なウェーハコーティングを提供します。このツールには、正確なアライメントと一貫したフォトレジストアプリケーションを保証する自動ウェーハ位置決めアセットも装備されています。また、自動化されたバスケミストリーも搭載しており、レジストの粘度とバスト温度を調整して最適な性能を発揮します。最大の柔軟性とカスタマイズのために、ST 240は直感的なユーザーインターフェイス、複数の投与モード、5つの異なる制御モード、および化学およびフォトレジストバスのパラメータを調整するために使用できるさまざまなプロセスパラメータを備えています。さらに、強力なプロセス制御機能により、付着、一時的な抵抗の増加、隆起したバンプの形成、フィルムパターニングなどのフォトレジスト特性を微調整できます。機器には、オンボードコントローラと安全セットアップが含まれており、ユーザーの進捗状況をリアルタイムで監視およびフィードバックし、トラブルシューティングを可能にします。最後に、SEMITOOL ST 240には包括的な診断およびトレーサビリティツールが付属しており、ユーザーは問題をすばやく特定して特定し、問題を迅速に解決できます。