中古 SEMITOOL SSTF221280MBT #293628579 を販売中

SEMITOOL SSTF221280MBTは、さまざまなフォトリソグラフィおよびウェーハ処理アプリケーションで使用するために設計された先進的なフォトレジスト機器です。これは、暗いフィールドと明るいフィールドの両方のアプリケーションの最適化を含む、光の露出と光学特性の正確な制御を可能にする革新的な設計を備えています。このシステムは、強力な処理とコマンド機能を備えており、さまざまなフロントエンド半導体アプリケーションに費用対効果の高い効率的なソリューションを提供します。SSTF221280MBTの中心にはSSTF-21200MPフォトレジストユニットがあり、必要な光学系だけでなく、統合された粒子除去機と真空ツールも含まれています。この強力なフォトレジストアセットは、スループットを最大化するために、露出パラメータの広い調整可能な絞りと微調整により、正確かつ迅速にオートフォーカスする機能を提供します。オートフォーカスは、前のレンズと明確な視線を提供し、イメージングモデルからの歪みを排除します。さらに、レーザーベースの照明装置を使用して複数のレジストレイヤーを処理できます。SEMITOOL SSTF221280MBTには、ウエハサポートシステムが統合されており、最大3つのウエハサイズと厚さに設定できます。ウェハトランスポートユニットは、手動ウェハハンドリングの必要性を排除し、破損や汚染の可能性を最小限に抑えます。SSTF221280MBTは、クリロン、テルビン、およびアミンの種類を含むフォトレジスト材料の範囲で動作するように設計されています。このマシンは露出後と露出前のベークモードの両方をサポートしているため、プロセスを柔軟に構成してスループットを最大化し、欠陥を最小限に抑えることができます。プリエクスポージャー・ベイクモードにより、1つの基板で複数のフォトレジストを迅速に処理できます。SEMITOOL SSTF221280MBTは、さまざまなパーティクル除去システムと統合し、最適なウェーハ清浄度を実現します。このツールは、自動化されたプリクリーニング、ポストクリーニング、およびワイプ機能を備えています。クリーニングソリューションは、アセット上部のノズルベントを介して調整可能な流量で適用され、露出したウェーハ表面の効果的なクリーニングと乾燥を保証します。SSTF221280MBTには直感的なコントロールパネルも含まれており、オペレータは簡単に機能を設定し、パラメータを監視し、迅速な実装変更を行うことができます。パネルには露出とプロセス設定が統合されており、効率的で直感的な調整でウェーハの生産を最適化できます。全体として、SEMITOOL SSTF221280MBTは、さまざまなフロントエンド半導体アプリケーションに信頼性が高く、効率的で費用対効果の高いソリューションを提供する高度なフォトレジストモデルです。このシステムは、統合された機器設計、強力な光学および処理能力、効率的なクリーニングレジメン、直感的なコントロールパネルにより、フォトリソグラフィーおよびウェーハ処理プロジェクトの制御とスループットを向上させます。