中古 SEMITOOL SSTF 421280M #293653192 を販売中

SEMITOOL SSTF 421280Mは、薄膜成膜およびフォトリソグラフィープロセス用に設計されたフォトレジスト装置です。スピンコーターとスピナーを組み合わせ、フォトレジストを基板に正確かつ均一に堆積させることができます。スピンコーターは、フォトレジスト材料を最大均一な基板に適用するために使用でき、スピナーは最大40,000 rpmの基板を回転させることができます。このシステムには、再循環チラー、4ポートウェーハハンドラ、ユニバーサル蓋、使い捨てセル、圧力源、メディア用リザーバーなど、さまざまなアクセサリーが付属しています。また、ユニットを管理、監視、制御するためのソフトウェアも含まれています。ソフトウェアパッケージは、ユーザーインターフェイス、レシピマネージャ、データロガーモジュールで構成されています。再循環チラーは、フォトレジスト材料が蒸着プロセス全体で一貫した温度に保たれるように正確な冷却を提供します。4ポートウェハハンドラは、基板の正確かつ均一な位置決めを保証します。普遍的なふたは不必要な周囲の軽い露出を防ぐのを助けます。使い捨て可能な細胞はフォトレジストのプロセスの清潔さそして一貫性を維持します。圧力源は、スピンコーティング中のフォトレジスト材料の変形を低減するのに役立ち、メディアリザーバはフォトレジスト溶液を分配するように設計されています。SSTF 421280Mフォトレジストマシンは、厚さのばらつき、層の均質性、表面の滑らかさ、欠陥を最小限に抑えることにより、均一で信頼性の高い成膜品質を提供します。また、正確な処理、迅速なプロセス時間、簡単な操作を提供します。その高度な設計により、フォトリソグラフィープロセスの費用対効果と再現性が向上します。このツールは、コーティングされたドライフィルム、MEMS、太陽電池、化合物半導体、およびハイテク電子部品の統合など、さまざまな用途に使用できます。