中古 SEMITOOL SSTF 42120F #9262874 を販売中

製造業者
SEMITOOL
モデル
SSTF 42120F
ID: 9262874
ウェーハサイズ: 6"
ヴィンテージ: 1996
Spray solvent system, 6" 1996 vintage.
SEMITOOL SSTF 42120Fは、サイクル時間を短縮し、ウェーハ収率を向上させるように設計された、完全に自動化されたSelfcontainedフォトレジストストリップ装置です。この高度なシステムは、最適化されたソフトウェアアルゴリズムと精密なロボットハードウェアを使用して、ウェーハが同じレベルの精度と再現性で露出されることを確認します。このユニットは、コンパクトなアーキテクチャを備えており、幅広い基板の統合を可能にします。SSTF 42120Fは、高速コンベア機と精密なロボットメカニズムを使用して、チャンバーとの間でウェーハを供給します。最初に、基質はコンベヤーに荷を積まれます;フォトレジスト加工室に運ばれます。チャンバー内部では、ウェーハは指定された波長と強度の紫外線にさらされます。この露出により、ウェーハ上に均一なコーティングが形成されます。露出後、ウェーハはチャンバーから搬出され、コンベアからアンロードされます。SEMITOOL SSTF 42120Fは、自動化された計測機能を提供し、プロセスの問題を特定するための高度な診断機能を提供します。このツールは、事前露出、ポスト露出、および複数の波長への露出などの標準露出機能の範囲を実行できます。さらに、アセットはアプリケーションの要件に合わせてカスタマイズされた露出プロファイルを実行できます。SSTF 42120Fの高度な制御モデルは、廃棄物を削減し、処理の精度を最大化するように設計されています。一貫した性能を保証するために、装置は露出の前に基質の質を点検する理性的なテストの議定書を動かします。さらに、すべての露出パラメータは、処理の前後の精度をチェックします。ソフトウェアはさらに自動フィードバックを提供し、ユーザーがシステム設定をカスタマイズすることができます。SEMITOOL SSTF 42120Fには、ユーザーを保護するためのさまざまな安全機能と保護メカニズムが含まれています。このシステムは、空気ろ過を搭載しており、空気中の粒子が処理中にウェーハに影響を与えるリスクを低減します。また、ロボットメカニズムには、ウェーハを取り扱う際の衝突などのリスクを回避するための安全センサーが装備されています。結論として、SSTF 42120Fフォトレジストユニットは高い一貫性と精度を提供します。そのインテリジェントなソフトウェアアルゴリズムと高度な診断により、設計された仕様内でウェーハが処理されます。その安全機能と自動化された制御機械は、信頼性の高い安全な処理環境を提供します。
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