中古 SEMITOOL SST #9359467 を販売中

SEMITOOL SSTは、SEMITOOL、 Inc。が開発した最先端のフォトレジスト機器です。このシステムは、高精度、高精度、再現性のあるレジストコーティングと剥離を提供する自動フォトレジストコーターです。真空蒸着や高度な光学プロセス制御などの先端技術を活用し、最良の結果を提供します。単位は3つの主要な部品から成っています：部屋、圧縮機およびコンピュータ機械。チャンバーはステンレス鋼で構成されています。これは2つのチャンバーで構成されており、1つは真空チャンバー用、もう1つはフィルム蒸着領域用です。高精度スパッタ成膜装置を内蔵し、成膜プロセスを制御し、成膜速度と層均一性を正確に制御します。コンプレッサーはチャンバーのさまざまな部分に空気を送り込み、真空を作り出します。この真空は、チャンバー全体の均質な大気環境を可能にし、均一なフィルムを確保し、沈着に抵抗します。コンピュータ制御のツールを使用して、真空レベルを監視し、それに応じて調整します。また、高度な光学プロセス制御を使用して、正確で一貫した反復可能なレジストコーティングと剥離結果を保証します。これは、分光反射計と分光光度計を使用してレジストコーティングと基板の光学特性を測定することによって実現されます。さらに、このモデルは、レジスト層のオンライン非破壊試験（NDT）を実行して、その均一性、接着性、および厚さを決定することもできます。これは、レジスト層を非常に低いエネルギーレベルでスキャンする最適化されたスキャン装置によって達成されます。最後に、このシステムはまた、コーティングと剥離結果を確認するポストプロセス分析を提供します。さらに、堆積レジスト層の精度、効率、再現性を確保するために、多くの自動化プロセスを備えています。全体的に、SSTによって提供される高度なエンジニアリングは、フォトレジストのコーティングと剥離のための非常に効率的で信頼性の高いオプションになります。このマシンは、精度、精度、一貫性、再現性、使いやすさなど、幅広い利点を提供します。