中古 SEMITOOL SST #9009453 を販売中

SEMITOOL SSTフォトレジスト装置は、マイクロエレクトロニクスコンポーネントの精密ステンシリング用に設計された最先端のソリューションです。高度な機能により、SSTフォトレジストシステムは、複雑な基板やその他のサブミクロン回路部品の製造に使用できる高精度なパターンを作成できます。SEMITOOL SSTフォトレジストユニットは、選択的に露出したフォトレジストの層を、フォトステンシルを介して基板に適用することによって動作します。このプロセスは、基板を高輝度光源にさらすことによって達成されます。フォトレジスト強度に応じて、電子ビームまたは紫外線（UV）光源を使用することができます。光源はフォトレジスト層を貫通し、基板上の望ましいパターンに分子を硬化させます。ステンシルを作成するために、基板は露出ステーションに沿って基板を駆動するコンベアベルトを備えたルームアップコンベアを通過します。フォトレジストが露出したら、基板は、フォトレジストの露出領域を除去するために互換性のある化学物質で開発されます。露出していなかった領域はそのままになり、基板上に所望のパターンを作成します。開発後、パターン化された基板を炉で加熱し、フォトレジスト加工を完了します。炉はフォトレジストの露出していない部分を取り除き、目的のパターンを基板に残します。SSTフォトレジストツールは、一貫した高品質の結果を保証するために、いくつかの重要な機能を組み込んでいます。このアセットは、再現可能なステンシルプロセスのための正確なモーションコントロール、正確な露出のための高解像度モータステージ、および使いやすいタッチスクリーンインターフェイスを備えています。また、ウェーハの自動取り扱いとキャッピング用のオプションモジュールも提供しています。さらに、SEMITOOL SST Photoresist Equipmentソフトウェアは高速パターニング技術向けに設計されており、迅速なセットアップとプロセスの最適化が可能です。SSTフォトレジストシステムは、非常に複雑なマイクロエレクトロニクス部品の製造に最適です。この高精度フォトレジストユニットは、最新の技術とユーザーフレンドリーなソフトウェアを組み合わせることで、幅広い基板に対して信頼性の高いサブミクロンパターンを生成することができます。