中古 SEMITOOL SST #293814148 を販売中

SEMITOOL SST
製造業者
SEMITOOL
モデル
SST
ID: 293814148
ウェーハサイズ: 6"
Spray solvent tool, 6".
SEMITOOL SSTは、紫外線を使用して目的のデザインを基板に転送するフォトレジスト機器です。フォトレジストシステムは、紫外線ランプ、レジストパターン発生器、レジストパターンを含むレジストステーションプレートを収容するレジストステーションで構成されています。リソグラフィープロセスは、レジストを基板に硬化させることから始まります。これは、紫外線ランプの配列で基板を照らすことによって達成されます。SSTユニットで使用されるUVランプの波長は350〜500ナノメートルで、目的の解像度を提供するために調整可能です。フォトレジストを基板上に硬化させた後、レジストパターンジェネレータを使用して目的のパターンを基板上に転送します。レジストパターンジェネレータは、レジストパターンジェネレータにプログラムされたパターンに従って、線、円、または他の形状のパターンで基板を露出します。得られたレジストパターンは導電性材料でコーティングされ、それを基板に接着するように加熱されます。SEMITOOL SSTマシンは、高度なリソグラフィ技術と強力で信頼性の高い紫外光源により、優れたフォトレジスト処理性能を提供します。その高度なリソグラフィ技術とその強力で信頼性の高い紫外線源は、ツールが高解像度、再現性と精度を達成することができます。SSTはまた、ガラス、セラミック、スチール、プラスチックなどの幅広い素材を扱うことができます。SEMITOOL SSTには、カスタムオプションとリソグラフィープロセスのリアルタイム監視を提供する高度なソフトウェアも含まれています。ソフトウェアはまた、ユーザーがデータを保存し、結果の詳細な分析を提供することができます。さらに、このソフトウェアを使用すると、露光時間、フォーカス、アライメント、パワーレベルなどのリソグラフィープロセスのさまざまなパラメータを調整できます。これにより、ユーザーは特定のアプリケーションのフォトレジストアセットを最適化できます。SSTモデルは、優れた処理性能を提供し、カスタマイズの程度を提供する包括的で信頼性の高いフォトレジスト機器です。その強力で信頼性の高い紫外光源、高度なリソグラフィ技術、およびカスタマイズ可能なソフトウェアは、複雑なフォトレジストの要件を習得するための理想的なツールです。
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