中古 SEMITOOL SST #293654402 を販売中

SEMITOOL SST
製造業者
SEMITOOL
モデル
SST
ID: 293654402
ウェーハサイズ: 8"
Spray solvent tool, 8" Dual chamber.
SEMITOOL SSTは、半導体製造に使用されるフォトレジスト機器です。レジストと呼ばれるケミカルコーティングと垂直スピンプロセスを組み合わせ、望ましいデバイスレベルの機能を作り出すためのリソグラフィ効果を実現するプロセスです。このシステムは、基板上に均一なコーティングを作成し、残留物の蓄積を防ぎ、穴とラインの配置精度を向上させるため、垂直スピンが重要です。SSTは、薄膜トランジスタ(TFT)、相補金属酸化シリコン(CMOS)、半導体メモリセルなどの最新のリソグラフィープロセスに使用されます。可変スピン速度、調整可能なレジスト厚さ、および精密なレジストスプレーパターンを備えているため、さまざまな形状やサイズのデバイスを最小限の非均一性で作成できます。その再現性と精度により、デバイスの仕様が確実に満たされますが、その汎用性により、1つのユニットでさまざまなプロセスを実行できます。SEMITOOL SSTは、低粘度レジストとの互換性を考慮して設計されており、高速回転と高解像度を実現し、より正確で信頼性の高いデバイスレベルの機能を提供します。この機械には、信頼性の高い耐溶剤性ハンドヘルドスプレーヤーと高圧ポンプが装備されており、レジストの厚さと流量を正確に制御できます。SSTは、オーバースプレーと汚染を最小限に抑えるように設計されています。メンテナンス性の低いツールで、長期間の使用で信頼性が証明されています。その強力な汎用性、精度、信頼性により、SEMITOOL SSTは、コンパクトなトランジスタ、フリップチップアセンブリ、3D集積回路、およびその他の複雑なデバイスレベルの製造プロジェクトの生産において貴重なものとなります。
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