中古 SEMITOOL SST-F-421-280-F #9276688 を販売中

SEMITOOL SST-F-421-280-Fは、シリコンウェーハ上の集積回路のパターンを正確に制御するために設計されたフォトレジスト機器です。このシステムは、4軸ガントリーと3軸ステージを備えており、正確な回路パターン作成に必要な正確なアライメントを提供します。ガントリーはスピンコーターとウェーハディスペンスロボットを持ち、ステージはスピンコーターとディスペンスロボットに対してウェーハの位置を正確に制御することができます。フォトレジストは、プリントされたシリコンウェーハに適用される光に敏感な化学化合物であり、光にさらされるとパターン化された電気絶縁層が生成され、互いに回路を隔離します。フォトレジストユニットは、高性能レーザー、光学システム、高度な制御アルゴリズムを組み合わせて、フォトレジストの露出を正確に制御します。SEMITOOL SSTF 421280F機にはスピンプロセッサも搭載されており、ウェハを高速で回転させることで、プリント面に薄くてもフォトレジストの層を形成します。また、ウェットフォトレジストプロセスとドライフォトレジストプロセスの両方に対応しているため、ポジティブトーン、ネガティブトーン、ナチュラルアングルなど、さまざまなフォトレジストタイプに使用できます。フォトレジストプロセスを支援するために、この資産には、自動温度制御モデル、均一な露出のための精密ステッチャー、および表面汚染モニターなど、いくつかのプロセス監視機能も含まれています。さらに、内部欠陥検査や統合プロセス制御装置など、品質保証や欠陥検出機能も含まれています。パターニングプロセスが完了すると、システムはフォトリソグラフィおよびエッチングプロセスと組み合わせて使用して、目的の回路パターンを作成できます。SST-F421-280-Fユニットが提供する機能の組み合わせは、シリコンウェーハ上の高度な集積回路を正確にパターン化するための最も効果的なソリューションの1つです。