中古 SEMITOOL SST-C-742-280 #293808354 を販売中

SEMITOOL SST-C-742-280フォトレジスト装置は、石英、シリコン、セラミックなどの薄膜素材を加工するために設計されたウェットエッチング装置です。このユニットは、優れた均一性と組み合わせた高速で信頼性の高いエッチング速度を提供し、人間の髪の毛の厚さを⅔するために精密にエッチングすることができます。統合された3ナオタンクマシンは、洗浄用の暖かいDI水、248nmのエキシマーUV光をフォトレジスト開発の大部分に提供し、ベースウェットエッチング化学を提供します。さらに、プロセスのすべての段階でエッチング速度とエンドポイント検出を監視するためのサーマルプロファイリングプロトコルを実行する自動制御ツールも含まれています。この資産は、スループットと精度を向上させながら欠陥を低減する2段階の酸化物エッチングプロセスを含む、さまざまな化学および環境オプションを活用しています。また、プリクリーン、デカム、酸化後リンスとも互換性があります。このプラットフォームはまた、シンプルながら堅牢な設計を誇り、堅牢な機械部品はモデルの寿命にわたって低メンテナンスコストを提供します。ユーザーは、追加の機械的調整を必要とせずに、UVとウェットエッチングの化学物質を切り替えることができます。安全機能の面では、デュアルシリンダ設計のパージ制御システムが含まれており、処理中に最適な保護を提供します。制御ソフトウェアは、オペレータの安全性を最大化するための時間ベースのプロセスアラートにより、安全で一貫した操作を保証するために簡単に構成できます。さらに、このユニットは、化学封じ込め、自動シャットオフ、および発煙フード換気で、腐食環境や漏れから保護するように設計されています。このプラットフォームには、工場のデータシステムと相互作用するEthereum対応の安全管理モジュールも装備されており、プロセスのトレーサビリティと危険なイベントの防止を最適化できます。SST-C-742-280は、コスト効率が高く信頼性の高いフォトレジストソリューションで、小規模および大規模生産の両方に最適です。高精度、高効率、安全性を備えたこのマシンは、さまざまなエッチングのニーズに最適で、オペレータに安心と安心を提供します。