中古 SEMITOOL SST-C-6422-5060-U #9279870 を販売中

SEMITOOL SST-C-6422-5060-Uフォトレジスト装置は、半導体チップ製造用に設計された統合プロセスシステムです。このユニットは、感光性材料を使用して、正確にコーティング、ソフトベーク、開発、およびハードベーキングシリコンウェーハを設計しています。リソグラフィ、フォトリソグラフィ、リフトオフ、はんだマスキング、選択的エッチングなど、さまざまなフォトレジストプロセスに適しています。フォトレジストマシンモデルSST-C-6422-5060-Uは、Soft-bake、 Coater、 Developer、 Hard-Bakeの4つの独立したウェーハチャンバーで構成されています。各チャンバーは、制御された環境を保持および維持することができるチャンバーベースに収容されています。統合されたシャワーヘッドは、フォトレジストによるウェーハの正確で均一なコーティングを保証します。ヒーター、チラー、真空レベル、排気機能も備えています。Soft-bake Chamberは、フォトレジストを使用する前にウェーハの表面を準備するために正確に温度と環境を制御します。コータポンプは、フォトレジストの均一で一貫したコーティングを保証する正確なろ過アセットです。開発者チャンバーは温度制御されており、フォトレジストが硬化して重合することができます。Hard-bake Chamberは、Soft-bakeとDeveloper Chambersで適用されるフォトレジスト材料をヒーターで硬化させます。このモデルには、機器制御とプログラミングの両方のための簡単にナビゲートできるタッチスクリーンなど、さまざまなデジタルコントロールも含まれています。これにより、各チャンバのプロセスパラメータを0。1％まで正確にプログラム可能なレシピの保存と検索が可能になります。このシステムは、プロセスパラメータのアップロード用のSEMITOOL Designソフトウェアとの完全な接続も提供します。SEMITOOL SST-C-6422-5060-Uフォトレジストユニットは、精密な化学配達のためのモーションコントロール配信機、均一なコーティングを提供する高精度のフローティングノズル、および高精度の化学配送ツールを備えています。このアセットはまた、各繰り返しでプロセスの安定性と基板の均一性を提供します。要するに、SST-C-6422-5060-Uフォトレジストモデルは、半導体チップ製造用に設計された、正確で汎用性の高いユーザーフレンドリーな統合プロセス機器です。精密なプロセスパラメータを備えた感光材料を使用したコーティング、ソフトベーキング、開発、ハードベーキングシリコンウェーハが可能で、各繰り返しの精度と一貫性を確保します。