中古 SEMITOOL SST-C-6422-5060-U #9279869 を販売中

SEMITOOL SST-C-6422-5060-Uは、集積回路ウェーハおよび基板の大量生産用に設計された先進的なフォトレジスト装置です。このシステムは、高度なハイスループットプラットフォームと信頼性の高い長期プロセスとタイトなプロセス制御を組み合わせ、一貫した再現性のある生産を可能にします。フォトレジストユニットにSST-C-6422-5060-U、リアルタイムで設定を監視および調整するための高度なプロセスコントロールを備えた完全に自動化された統合された構成が含まれています。このマシンは、最大400mmの基板またはウェーハを処理できる50チャンバー容量の統合された400mmプロセスボートを備えています。これにより、高精度で再現性のある基板やウエハの大量生産に最適です。このツールは、特許取得済みのデュアルゾーンプラットフォーム設計を使用しており、2つの独立したプロセスを同時に実行でき、最大のプロセス効率とスループットを提供します。このデュアルゾーン設計には、最高温度915°Cの高温ゾーンと最高温度190°Cの低温ゾーンが含まれています。高度なサーボドライバと温度コントローラを組み合わせた2つの温度ゾーンは、基板またはウェーハの正確で再現性の高い位置指向ベーキングを保証します。フォトレジストアセットには、ベークレスパイトと溶媒蒸気の両方を制御する2段階の真空モデルも含まれています。ablativeまたはsoft-ablativeプロセスの選択。そして精密で、反復可能なプロセスを提供する独自のマスク付室装置。SEMITOOL SST-C-6422-5060-Uには、選択可能なスキャン速度と光学フィルタを備えた高解像度イメージングサブシステムがあり、正確で高速なアライメントと検出機能を備えています。SST-C-6422-5060-Uには、チャンバー温度、圧力、スピン速度などのパラメータをリアルタイムで調整できる高度なプロセス制御ソフトウェアが付属しています。統合ソフトウェアは、プロセスの有効性と安定性を監視するための最新のパフォーマンス指標をオンサイト担当者に提供します。これにより、ダウンタイムの短縮、スクラップの削減、プロセスの再現性の向上が可能になります。SEMITOOL SST-C-6422-5060-U Photoresist Systemは、プロセスの再現性と制御性を向上させ、一貫した結果を提供するように設計された超高スループット生産プラットフォームです。このユニットの特許取得済みのデュアルゾーンプラットフォームは、最大400mmウェーハをサポートし、統合された真空マシン、高度なサーボドライバ、およびプロセス制御ソフトウェアを組み合わせることで、より高い歩留まりを実現します。