中古 SEMITOOL SST-C-6422-5060-U #9279865 を販売中

SEMITOOL SST-C-6422-5060-Uは、自動コンベアモジュールを備えたフォトレジスト装置で、手作業を削減し、フォトレジストプロセスを簡素化するように設計されています。半導体ウェハアプリケーション用の自動フォトレジスト処理を可能にします。このシステムは、フォトレジストタンク、ウェットベンチ、プレベーク、スピンコート、露出モジュール、ポストベークモジュールなど、いくつかのモジュールで構成されています。フォトレジストタンクは、フォトレジスト液をユニットに追加する場所です。ウェットベンチは、プレベークおよびポストベークモジュールに電力と熱を供給するだけでなく、フォトレジストタンクを充填する責任があります。プリベイクモジュールは、スピンコートの前にウェーハ表面を所望の温度に加熱するために使用されます。Spin-Coatモジュールは、ウェーハ表面にさらに薄いフォトレジスト層を適用する責任があります。露出モジュールは、ウエハ表面を特定の紫外エネルギーにさらすために使用され、ウエハ表面に所望のパターンを提供します。フォトレジストの露出後、Post Bakeモジュールはウェーハ表面のパターンを修正するためにウェーハ表面を加熱する責任があります。このマシンは、フォトレジストアプリケーションに簡単で安全で自動化されたプロセスを提供するように設計されています。紫外線への偶発的なオペレータの暴露を防ぐ安全インターロックツールを装備しています。また、ユーザーフレンドリーなGUI（グラフィカルユーザーインターフェイス）が付属しており、資産の操作が非常に簡単になります。このモデルは効率的なメンテナンスのためにも設計されており、クリーニング材料キットとツールが付属しています。結論として、SST-C-6422-5060-Uは効率的で信頼性の高いフォトレジスト機器であり、手作業を削減し、半導体ウェハアプリケーションのフォトレジストプロセスを簡素化するように設計されています。安全インターロックシステムとユーザーフレンドリーなGUIを搭載し、メンテナンスを容易にするように設計されています。