中古 SEMITOOL SST-C-632-280 #293808351 を販売中

SEMITOOL SST-C-632-280は、半導体ウェーハ加工用に設計されたフォトレジスト機器です。年間4万インチウェーハまでの生産スループットをサポートし、重要な半導体デバイスの製造に効果的な低コストのプラットフォームを提供します。SST-C-632-280は完全に自動化されたシステムであり、低メンテナンスと消耗品コストで動作し、幅広いフォトレジストとフォトリソグラフィープロセスで最高レベルの再現性と精度を提供します。このユニットは、3軸の精密翻訳ステージと、多軸スキャン機能を備えた6軸ロボットアームを備えています。SEMITOOL SST-C-632-280は、複数のウェーハまたはフラットパネルを同時に処理できる独自のスキャナーレスレシピ開発機で設計されています。このユニークな機能により、特別なオフラインアライメントなしでフォトレジストを均一に露出できます。アセットは、異なるフォトリソグラフィープロセスと複数の露出のためにウェーハプロセスを同期することもできます。ウェハローディング装置、プロセッササブシステム、トランスファーおよびアライメントテンショナー、およびスピンチャックヒーターを含む各モデルコンポーネントは、クローズドループ動作で設計されています。さらに、クローズドループの温度制御と、ウェーハ表面のさらなる保護のための統合真空ダストフィルタも備えています。フォトマスキングやフォトレジストの開発に加えて、SST-C-632-280はウェーハの洗浄、剥離、ベーキング作業にも使用できます。システムは自動化学調節および適量の正確さを特色にします。オプションのFM-Tune Autofocus Unitは、解像度と精度をさらに向上させます。SEMITOOL SST-C-632-280フォトレジストマシンは、幅広い半導体ウェーハ処理アプリケーション向けの堅牢で費用対効果の高いソリューションです。大容量・小容量のバッチ処理が可能で、高解像度のフォトマスキング操作をサポートします。このツールは、集積回路やその他のハイエンド半導体デバイスの高速で信頼性の高い生産に最適です。