中古 SEMITOOL SST-C-632-280-KM #9276685 を販売中

SEMITOOL SST-C-632-280-KMフォトレジスト装置は、デバイス製造要件のための完全なウェットベンチ洗浄およびフォトレジスト処理ソリューションです。ウェーハの準備、基板洗浄、フォトレジストコーティング、開発プロセスを自動化し、プロセス管理を徹底します。このシステムは、自動基板トランスポートと、モジュラー型のユーザー設定可能なプロセスステップを備えています。洗浄ユニットSST-C-632-280-KM、複数の洗浄タンク、界面活性剤クリーニングモジュール、DI水洗浄、水系または溶剤系クリーニング用のプロセススタンドで構成されています。自動洗浄タンクは、オペレータにパフォーマンスのフィードバックを提供しながら、すぐにタンクを満たし、排水するペリスタルポンプ機を備えています。界面活性剤クリーニングモジュールは、酸、アルカリ、アミン界面活性剤を組み合わせて基板表面を洗浄するように設計されています。DI水洗浄は、最終的にきれいな超純水を提供します。このツールには、基板表面にフォトレジスト材料を適用するためのレジストコーターも含まれています。コーターは厚さの範囲の反復可能な、均一な抵抗のコーティングのために設計されています。スピンコーティング、スプレーコーティング、またはカスケードスピンコートプロセス用に構成できます。このコーターは、プロセス制御を維持するための高度な温度センサーとフローセンサーを備えています。この開発資産には、プレベークおよびポストベーク用の統合ホットプレート、ウェーハから残留フォトレジストを除去するためのリンスおよびドライステーション、および重要な開発ステップのための高精度の温度および湿度制御トラックが含まれています。柔軟でユーザー設定可能な開発プロセスを設定して、プロセス制御を最適化することができます。SEMITOOL SST-C-632-280-KMフォトレジストモデルは、主要なレジスト材料を使用した作業フロー用に設計されており、既存および新しいフォトマスク機器と完全に互換性があります。あらかじめプログラムされたプロセスシーケンスを使用した使いやすいインターフェイスと、カスタムプロセスシーケンスを作成する機能を提供します。この装置は、再現可能で高品質なデバイス製造結果を達成するための信頼できるプラットフォームを提供します。