中古 SEMITOOL SST-C-621-280 #9360715 を販売中

SEMITOOL SST-C-621-280 Photoresist Equipmentは、コーティング、開発、除去フォトレジストに使用される最先端のマルチゾーン、シングルチャンバー液体および乾燥半導体インラインプロセスツールです。このシステムは、200mmおよび300mmウェットプロセスおよびドライプロセスの生産ラインに適しています。バルクまたは小型のバッチ生産が可能で、ダウンタイムを最小限に抑えながら全体的な生産コストを削減するように設計されています。SST-C-621-280にはドライフィルムフォトレジスト用の全自動ローディングユニットが装備されており、特別な機器を必要とせずに取り扱うことができます。キャビネットで囲まれた機械は最適のフィルムの質および均等性を保障するために制御された環境を維持します。独立した制御ゾーンは、さまざまな温度、速度、圧力、および化学パラメータに設定できます。ドライフィルムフォトレジストは、チャンバーの回転プロセスホイールにロードされ、6つのゾーンのそれぞれが特定のプロセスパラメータに対して個別に調整可能です。SEMITOOL SST-C-621-280には、プロセスサイクルの終わりに使用するための特殊なスクラバー/デベロッパーホイールがあり、余分なフォトレジスト溶液と粒子を除去します。スクラバーホイールは、エンドユーザーの特定のニーズに合わせて設定できる3つの圧力設定に調整可能です。フォトレジストツールには、処理サイクルごとにフィルムの品質を検査する独自の視覚検査アセットも含まれています。この検査プロセスは、バッチおよびウェーハ間の不整合を最小限に抑えるのに役立ち、粒子、リソグラフィ、および処理の欠陥を検出および識別することができます。クライオ冷却機能により、ウェーハを迅速かつ効果的に冷却し、長時間加工による表面ダメージを軽減します。SST-C-621-280には、プロセスレビューソフトウェア、プラズマプリプロセス、オートループ統合など、多くのオプションおよび高度な機能も装備されています。SEMITOOL SST-C-621-280は、信頼性の高い性能と高解像度のイメージングおよび膜厚精度を提供することにより、半導体製造の合理化を支援するように設計されています。それは装置に組み込まれている品質管理変数との大量の生産が可能な湿式または乾式プロセスの生産ラインのための使いやすく、非常に洗練された用具です。