中古 SEMITOOL SST-C-621-270 #9177160 を販売中

SEMITOOL SST-C-621-270は、半導体用に開発されたフォトレジスト機器です。フォトレジストを用いたウエハ加工を含む多種多様なプロセスフローで使用できるように設計されています。このシステムは、高いプロセス再現性、高いスループットと信頼性、および低メンテナンス要件を提供します。このユニットは、621チャネルの電気制御可能なディスペンスマニホールドで構成されており、正確で正確な流量制御を提供します。これにより、ウェーハ表面に供給される化学物質の厳密なプロセス制御が可能になります。プロセスチャンバーを使用すると、ウェーハとケミカルを機械に大量輸送するためのシングルピースの石英ボートを同時に積むことができます。このツールには、フォトレジストソリューションの正確な温度制御を可能にし、プロセスの変動を最小限に抑えるためのデュアル温度制御モジュールも装備されています。このアセットには270位置のスピンチャックも搭載されており、スピンコーティング、ソフトベーク前、開発後などの精密プロセスを実行するための安定したプラットフォームを提供します。真空チャックの上にあるUVランプを使用して、フォトレジスト層を急速に乾燥させます。安全のために、このモデルには緊急停止（EO）と機内排気装置が含まれ、有害な空気中の粒子の放出を制御します。最後に、SST-C-621-270にはグラフィカルユーザーインターフェイス（GUI）があり、ユーザーがシステムを表示および制御できるようにします。GUIにより、ユニットの操作が簡単になり、ユーザーはマシンを素早くセットアップして監視してプロセスを最適化することができます。結論として、SEMITOOL SST-C-621-270は、高効率で信頼性が高く、ユーザーフレンドリーなフォトレジストツールであり、フォトレジストによるウェーハの正確かつ正確な処理を可能にします。