中古 SEMITOOL SST-C-621-270-P #9409098 を販売中
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ID: 9409098
ヴィンテージ: 1996
Spray solvent tool
Cabinet: Stainless steel, Thru the wall, Class 1
(4) Heated tanks
(2) IPA Tanks
270 Bowl (Accommodates 6" substrate-low profile)
Encapsulated ferro fluidic drive seal
KALREZ Bowl seal
N2 Purged dedicated chemical
DI Water spray manifolds
Dedicated TFE N2 Dry manifold
Graphic color controller
Process variable control of RPM
Heated chemical temperature
1996 vintage.
SEMITOOL SST-C-621-270-P Photoresist Equipmentは、比類のない品質、性能、信頼性を提供する最高級のフォトレジスト加工ソリューションです。幅広いアプリケーション向けに設計されたSEMITOOLのユニークな機能は、どこでもフォトレジストの専門家の間で最高の選択肢となります。SST-C-621-270-Pは、大量の液体処理システムを備えており、廃棄物を最小限に抑え、バックエンドのコストを削減しながら、高い生産性とスループットを提供します。また、汚染のない保管機、高効率のろ過、および精度と再現性を向上させる粗くて微細なディスペンスバルブを備えています。フォトレジストは、技術的に高度で制御可能な性能のために油圧的にアプリケーションポイントに供給されます。このツールは、高精度、低容量の真空アセットを使用して、粒子数を最小限に抑え、外部ソースからの汚染を防ぎます。このモデルはまた、温度に敏感なプロセスのための温度安定化されたチャンバーを提供し、環境の安定性を向上させます。クローズドループ熱制御装置は、重要なフォトレジスト処理ステップに適した温度を保証します。SEMITOOL SST-C-621-270-Pは、プロセスレシピを切り替えたり、現在の結果を監視したり、数回クリックするだけでパラメータを調整することができる統合されたプロセス制御システムも備えています。このユニットを使用すると、システムを再起動することなく、異なる処理サイクル間を移動することができます。また、さまざまなフォトレジスト処理ステップにおける効率の向上と可変性の低下も容易になります。SST-C-621-270-Pはどこでもフォトレジストユーザーのためのワンストップソリューションです。機能と信頼性の高い性能の組み合わせにより、フォトレジスト市場の精密要件に最適です。SEMITOOL SST-C-621-270-Pは、費用対効果、高品質のパフォーマンス、環境の安定性の向上により、あらゆる業界のフォトレジスト加工専門家に最適な製品となっています。
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