中古 SEMITOOL SST-C-421-280 #9144801 を販売中

SEMITOOL SST-C-421-280は、1つの負荷で最大161個のウェーハを処理可能な2つの処理チャンバからなる完全自動フォトレジスト装置で、シングルチャンバーまたは2チャンバーシステムとして動作します。処理チャンバーは強化ステンレス鋼で構成されており、熱均一性と全体的な単位スループットを最適化するために調整可能な3ゾーン精密コントローラとプロセスタイマーを備えています。1つ目のチャンバーは、最適なウェーハカバレッジを実現するために、ペイオフの低い歪みのVFLスキャナを使用したフォトイメージングトラックを備えています。このスキャナはウェーハ表面上を毎秒7〜60mmで移動し、最高の精度とスループットを実現します。イメージングマシンのプロセスヘッドは、600mmから600 mJ/cm²の範囲で、イメージエッジプロファイルとライザーをより大きな制御できます。このトラックには、最大60分の処理時間のための調整可能な加熱スペースも備えており、より長いウェーハ構造のイメージングに最適です。最大の柔軟性を達成するために、2番目のチャンバーは、単一のウェーハ浸漬とスプレー開発サイクルを開始することができます。液浸開発ツールは、部品の損傷を最小限に抑え、優れた部品カバレッジを提供するために、高さ制御プラットフォーム（HCP）とジェットポンプオーバーレイで構成されています。HCPはZ軸で0。2〜4cmの調整が可能で、H2O2、リン酸など多くの溶媒と互換性があります。スプレー開発資産は、最適な精度と再現性のために設計されており、歪みと部品損傷を最小限に抑えた優れたレベリングプロファイルを提供します。これにより、スプレーノズルはX方向とY方向の両方に移動し、円形またはx-y-zスプレーを可能にし、ウェーハごとに最大5回のスプレー開発サイクルを提供できます。最後に、このモデルは、重要なプロセスを乾燥するためのオプションのシングルウェーハドライヤー（MWD）も提供します。この強力でエネルギー効率の高いドライヤーは、複数のヒートラジエーターを使用してウェーハを90°Cの温度に均等に加熱し、最高温度の均一性と低い熱応力を実現します。結論として、SEMITOOL SSTC421280は、最大限の柔軟性と最適な精度を提供するように設計された完全に自動化されたフォトレジスト機器です。デュアル加工チャンバのセットアップは、1つの負荷で最大161個のウェーハを処理するのに理想的です。一方、ペイオフの低い歪みの真空折りたたみレンズスキャナ、浸漬開発システム、およびシングルドライヤーは、部品損傷を最小限に抑えて優れた結果を提供するのに役立ちます。