中古 SEMITOOL SST-C-421-280 #293813036 を販売中

SEMITOOL SST-C-421-280
ID: 293813036
ウェーハサイズ: 6"
Spray solvent system, 6".
SEMITOOL SST-C-421-280は、次世代半導体、先進ディスプレイ、集積回路の高解像度、高機能密度の需要に対応するために構築されたフォトレジスト装置です。このシステムは、Teradyneの自動光学検査(AOI)システムと完全に互換性のある高度な光学パッケージを備えています。今日の超小型プリント回路基板のフォトマスク、レジスト、相互接続層において、非常に微細な解像度を正確に露出し、開発するように設計されています。SEMITOOL SSTC421280は、ウェーハアライメントと位置決めを可能にする反転光学カラムを誇り、比類のないスループットで再現性のある超高性能を提供します。無電解メッキ(EP)の採用により、導電性の向上と歩留まりの向上が可能です。高度な光学パッケージは、ミスアライメントやハイスループットスキャンを繰り返すことなく、非常に正確なフォーカス調整が可能です。4屋根光学ユニットは、エッジの歪みと誤った画像形成を修正し、フォトレジスト画像の品質を低下させる可能性のあるエラーを排除します。内蔵のモータ駆動シャッターマシンは、露出時間を正確な仕様に短縮し、光の散乱を排除し、高解像度機能の生産を支援します。SST C-421-280には、シングルフィクスチャまたはダブルフィクスチャツーリングのプロセストレイがあります。そのプロセス構成の配列は、高密度と低密度の両方の基板の正確な統合を可能にします、大容量のロボットは、厚膜と薄膜レジスト層の両方に対応することができます。また、汚染物や粉塵を除去するエアフィルトレーションツールを内蔵し、パターンの鮮明さと特徴定義をさらに向上させています。高真空チャンバは、処理サイクル中に必要な高品質の基板とレジストを維持することにより、プロセスのドリフトを低減し、効率的な動作を促進します。高度な光学パッケージ、印象的なモーター駆動シャッターアセット、汎用性の高いプロセストレイの選択により、SST-C-421-280は今日ますます要求の厳しい製造要件のニーズを満たすことができます。効率的な操作と優れた性能により、先を見据えたメーカーに最適です。
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