中古 SEMITOOL SST-C-421-280 #293747945 を販売中

SEMITOOL SST-C-421-280は半導体産業の最も要求の厳しい要件を満たすように設計されたフォトレジスト機器です。このシステムは、コールドプレートモジュール、コンフォーマル冷却、およびサーマルセンシング技術を使用して、超精密で信頼性の高い表面抵抗層を提供します。冷たい版モジュールは処理の間に基質の上で冷却された冷却剤を直接循環させ、区域を均一保ち、一貫したフォトレジストの層を保障することによって働きます。このユニットは、最高圧力で最大10。5 SFM/minの静止圧力と28。1 CPI （1インチあたりの接点）を可能にします。コンフォーマル冷却により、フォトレジスト表面層の均一性が向上し、プロセスの速度と精度が向上します。この技術は、基板の形状を考慮して均等性を向上させ、納期を短縮します。このマシンには、基板の表面温度を完全に制御できるサーマルセンシングセットアップが装備されています。± 0。1°Cの精度と0。01°Cの分解能を備えているため、あらゆる用途でより高い精度と予測可能な結果を得ることができます。このツールの他の機能には、直感的なアイコンを備えたユーザーフレンドリーなソフトウェア、最大244Lの調整可能なタンク容量、および内蔵のEビームプレート事前洗浄およびポストリンス段階があります。このソフトウェアはまた、プロセスの異常をユーザーに警告し、すべてのプロセスパラメータのリアルタイムレポートを提供しながら、いつでもタンク設定を変更することができます。全体として、SEMITOOL SSTC421280フォトレジスト資産は、高性能、コンプライアンス、および優れた均一性を提供するため、半導体およびデバイス製造アプリケーションにとって理想的なソリューションです。