中古 SEMITOOL SST-C-321-280 #9238796 を販売中

SEMITOOL SST-C-321-280は、さまざまなフォトレジストアプリケーションで使用するために設計されています。大量のレジストを迅速かつ効率的に処理できる自動バッチ処理装置です。このシステムは、堅牢な環境で、さまざまな基板上に正確で反復可能なコーティング層を提供するように設計されています。ステンレススチールをベースに、フォトレジストプロセスの過酷な環境に耐えるために必要な強度と耐食性を備えています。このベースには、さまざまな厳しい生産環境で信頼性を高める、配置の整った機械部品も配列されています。マシンは完全に自動化され、シャワーヘッドのプログラム可能な動きをサポートし、複数の処理手順とレシピを可能にします。工具のコアは、一段圧縮機で冷却された280リットルのチャンバーで、チャンバー内に真空を発生させます。チャンバーには、基板サポート用のシャワーヘッドとウェーハチャックが装備されています。この組み合わせにより、基板表面上の均一で制御されたレジスト分散が保証され、一貫した厚さが得られます。フロントパネルのデジタルコントロールにより、簡単なセットアップと操作が可能です。チャンバー上のウェハトランスポートアセットは、最大8つのさまざまな直径のウェハーをサポートします。生産スループットを考慮して設計されており、ウェーハからウェーハまでの時間は5秒以内に設定されています。このウェーハ転送の高速化により、スループットが向上し、本番稼働中の起動も高速化されます。また、ウェハトランスファーモデルは、汚染の蓄積を防ぐためのセルフクリーニング機構を備えています。生産中に最高の精度を得るために、装置のビジョンシステムには、基板の裏側の明確な可視性を確保するために、統合されたビジョンシステムと光源システムが提供されます。統合システムは、常に最良の結果を提供します。また、最先端の信号入出力制御ユニットを備えており、機械の状態を遠隔監視できます。SEMITOOL SSTC321280ツールは、フォトレジスト処理に最適な効率的で信頼性の高いツールです。これは、高品質の結果と大規模な生産ランのための堅牢で信頼性の高い動作を提供するように設計されています。