中古 SEMITOOL SST-C-221-280-PB #9408953 を販売中

SEMITOOL SST-C-221-280-PBは、高度なリソグラフィープロセスで処理する際に優れた性能と優れたプロセス信頼性を提供するように設計されたフォトレジスト機器です。このシステムは完全に自動化されたフル機能のフォトレジスト処理ソリューションであり、複数の基板構成でシングルステップおよびマルチステッププロセスを実行できます。このユニットは、完全に自動化された基板ローディングマシンを使用しており、異なるプロセスのために最大5つのレシピセットを格納することができます。このツールは、優れた性能、再現性、およびプロセスの信頼性を確保するために、最高品質の材料、コンポーネント、エンジニアリングプラクティスを備えています。この資産は、特許取得済みのガス供給技術を使用して、フォトレジストを基板表面に均一に分配し、手動で拡散する必要を排除します。ユニークなデュアルポンプモデルは、基板上のフォトレジストの均一な分布を確保しながら、一貫した反復可能なプロセスを提供するために使用されます。この装置は、最大直径6インチ、最大厚さ200 umのウェーハサイズを処理することができます。ウェハレベルのフォトレジストの厚さを測定し、フォトレジスト層の均一性を監視するために、完全に統合された水晶モニタユニットを使用しています。また、プロセス実行中にフォトレジスト層を監視できるリアルタイムのインプロセス検査ツールも備えています。SST-C-221-280-PBはまた、再現可能なプロセス条件を保証し、一貫したレジストパターニングとベーキングを保証する高密度、低温ベーク機能を備えています。このアセットには、2つの加熱段と2つの冷却段が装備されており、正確なプロセス制御が可能です。全体として、SEMITOOL SST-C-221-280-PBは、優れた性能、プロセスの信頼性、再現性を提供するように設計された高度なフォトレジストモデルです。この装置は高度なリソグラフィープロセス用に設計されており、特定のアプリケーションに合わせてカスタマイズできるさまざまなプロセスパラメータを可能にします。このシステムは、優れた性能、再現性、およびプロセスの信頼性を確保するために、最高品質の材料、コンポーネント、エンジニアリングプラクティスを利用しています。このユニットは、直径6インチ、厚さ200 umまでのウェーハ処理が可能です。また、統合された水晶モニターとインプロセス検査システムを備えており、優れた性能とプロセスの信頼性を確保しています。