中古 SEMITOOL SST-C-221-280-P #9400640 を販売中
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ID: 9400640
ウェーハサイズ: 8"
ヴィンテージ: 2001
Spray solvent system, 8"
(3) Chambers (2-Heated)
2001 vintage.
SEMITOOL SST-C-221-280-Pは、集積回路のエッチング、コーティング、開発用に特別に設計された精密フォトレジスト装置です。このシステムは、フォトレジストのアプリケーションプロセスを正確に制御するための複数のコンポーネントを備えています。このユニットには、最先端のSST-C-221-280-Pフォトレジストスプレーヤー、正確な露出制御のためのクォーツランプ、および再循環スプレーチャンバー付きのスピンプロセッサが含まれています。SEMITOOL SST-C-221-280-Pフォトレジストスプレーヤーは、所定の流量と圧力で正確な量のフォトレジストを提供するように設計されています。これは、特定のスプレーパラメータでプログラムされた自動コントローラによって達成されます。これにより、可能な限り最高の品質でより均一な部品を作成できます。SST-C-221-280-P機械との使用のために設計されている水晶ランプは露出時間および強度の精密な制御を提供します。これにより、フォトレジストが過剰露出または過剰露出ではないことが保証されます。異なるフォトレジスト製剤のプロセスを最適化するために、強度と露光時間を簡単に調整できます。SEMITOOL SST-C-221-280-Pツールに含まれるスピンプロセッサには、精密な処理速度と温度制御を提供する高度な自動制御が含まれています。スピンプロセッサ内に戦略的に取り付けられたジェット機は、最適な温度で処理される基板にフォトレジストの微細な霧をスプレーします。プロセッサの設計により、フォトレジストの損失を最小限に抑え、正確で反復可能な処理条件のための動的環境を提供します。SST-C-221-280-Pフォトレジストアセットは、エッチング、コーティング、および集積回路の開発に最適です。正確に制御された自動化されたプロセスと露出および処理の正確な制御の組合せは信頼でき、反復可能な結果を提供します。さらに、異なるフォトレジスト製剤を使用できるため、幅広い用途で使用できます。
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