中古 SEMITOOL SST-742 #9356936 を販売中

SEMITOOL SST-742は、半導体基板を効率的かつ正確に処理するフォトレジスト機器です。このバッチ型プラットフォームは、オーバーフロー洗浄、ホットDI洗浄、センター負荷、スピンドライヤー、トラック転送、プレベイク、アライナー、自動電子ビームリソグラフィー、ポストベーク、開発し、アンロードを追跡しています。優れたプロセス再現性、幅広いプロセス機能、ユーザーフレンドリーな操作性を提供するように設計されています。オーバーフローすすぎは、35から200µmサイズの基板、および基板上のチップ、プローブカード、および高さ20mmまでの基板を処理できます。熱いDIの洗浄設備は95°CまでのクリーンなDIの水の単一供給しか要求しません。1つのヘッダーを使用して最大4つのすすぎタンクを供給することができ、必要な粒子除去レベルを柔軟に選択できます。中心荷重は基板の位置を保持するように設計されていますが、スピンドライヤーはDI洗浄後にウェーハに残った残留水を除去します。トラック転送は、ウェーハを中心荷重からアライメントステージに輸送する責任があります。ここでは、ウェハの位置精度を25µm精度で維持します。その後、プリベークはフォトレジストを適用するために使用され、自動電子ビームリソグラフィはフォトレジストを公開するために使用されます。ポストベイクはフォトレジストの適用を完了し、トラックはウェーハをシステム内で移動する際にアンロードします。全体として、SEMITOOL SST 742は、幅広いプロセス機能と信頼性の高いプロセス再現性を提供する包括的なフォトレジストユニットです。人間工学に基づいた設計は最適なオペレータの安全性を提供し、機械のオートメーションはプロセススループットを改善し、ずれの可能性を排除します。このツールは、高性能基板および半導体デバイスの工業生産に最適です。