中古 SEMITOOL SST-742 #9229862 を販売中

SEMITOOL SST-742フォトレジスト装置は、高いスループット、信頼性の高い均一コーティングを提供するために設計が最適化された特殊な大面積フォトレジストコーターです。フォトレジストシステムは、特許取得済みのデュアルレベルスプレー技術を備えており、優れたコーティングの均一性と蒸着制御を可能にします。統合された温度制御ユニットは、基板の表面と基板から基板の両方にわたって一貫したコーティングを保証します。この強化された制御は、フォトレジストの再現性と信頼性の高い均一なコートをもたらします。SEMITOOL SST 742のマシンは、メインチャンバーと4つの衛星チャンバーで構成されています。メインチャンバーは、オーバーヘッドスプレーチャンバー、プレナム、および加熱チャンバーの壁で構成される、深さ、長方形のステンレススチールボックスです。主要な部屋から独立した4つの衛星室はまたコーティング用具を構成します。各衛星チャンバーは、メインチャンバーのプレナムに接続されています。アセット全体は高度な統合コントローラによってさらに制御され、温度とプロセスパラメータの両方を制御できます。SST-742のスプレープロセスは、大型基板への均一な蒸着に最適化されたスプレー方法で構成されています。カスタムデザインのスプレーガンは、スプレーチャンバー内で動作し、フォトレジストソリューションで基板を自動的に掃除しながら、結果の均一性を迅速に制御します。次に、基板を加熱チャンバーに配置します。この部屋に90°C （194°F）と160°C （320°F）の間の温度で作動する可変的な温度によって熱される壁があり、フォトレジストプロダクトのコーティングの性能の最適化を可能にします。SST 742の制御ソフトウェアにより、ドウェル時間、温度、窒素流量、ガス圧力など、幅広いプロセスパラメータを設定できます。また、異なるフォトレジストのための簡単なセットアップを可能にするレシピエディタが含まれています。SEMITOOL SST-742フォトレジストモデルは汎用性が高く、金属のリフトオフや太陽電池のカプセル封入など、さまざまな用途に対応できます。