中古 SEMITOOL SST-742 #293653191 を販売中

SEMITOOL SST-742 Photoresist Equipmentは、MEMS製造やウェハレベルパッケージなどの重要な位置オーバーラップを必要とするアプリケーションにおいて、最高レベルの精度と再現性を確保するために設計された最先端のモジュラー自動処理システムです。このユニットはユニークなモジュラーアーキテクチャを使用して設計されており、圧力と時間の両方に柔軟性を提供することで、スループットを最大化し、特定のプロセスの要求を満たすようにマシンを構成することができます。さらに、独自のチャンバー設計と再循環フローシステムの統合により、温度の均一性が向上し、最高レベルのプロセス再現性と再現性が保証されます。SEMITOOL SST 742マシンの主なコンポーネントには、基板ローディングおよび輸送ツール、プロセスチャンバーアセンブリ、流体供給アセット、および制御モデルがあります。基板の積み込みおよび搬送装置は、基板を単純に積み込みステーションに積み込み、プロセスチャンバーアセンブリ内の適切な場所に自動的に転送することができます。プロセスチャンバーアセンブリは、さまざまなタスクを実行するユーザー指定モジュールで構成されています。モジュールには、処理前にフォトレジストをウェーハ全体に均等に分配するスプレッダーバーが装備されています。流体供給システムは、分配量を正確かつ完全に制御できるように設計されており、正確で再現性のあるプロセスを可能にします。制御ユニットは、マシンとユーザー間のインターフェースを提供し、ユーザーがプロセスパラメータを設定し、リアルタイムで結果を監視することができます。SST-742 Toolのモジュール設計と幅広いプロセス機能により、MEMS製造、高度なパッケージング、Opto-Electronics、 DISARRAYウェハプロセスなど、さまざまなアプリケーションに適しています。その高い温度性能により、DSPグレードや低抵抗レジストなど、幅広いフォトレジスト樹脂を処理できます。さらに、その高度な制御資産は、すべてのパラメータの自動化と制御を可能にし、正確で反復可能なプロセスを保証します。信頼性の高いパフォーマンスにより、SST 742はウェーハスループットを向上させ、コストのかかる再作業に伴うコストを削減することが証明されています。