中古 SEMITOOL SST-742-280 #293657532 を販売中

SEMITOOL SST-742-280は、高精度フォトリソグラフィ用に設計されたフォトレジスト加工装置です。このシステムは、最大8インチまでのウェーハを処理でき、5umから4umの解像度で処理できます。高密度集積回路を作成するために不可欠なウエハ表面の超精密イメージング用に設計されています。SST-742-280ユニットは、光の露出とウェーハの正確な位置決めのための反転光学顕微鏡マシンに基づいています。ウエハは高精度のマスクを通して紫外線にさらされます。マスクには、画像のサイズと形状を調整できるさまざまな細かいグリッドがあります。その後、ウエハーは高輝度の紫色ランプを使用して露出されます。光の強度は、所望のフォトレジスト画像解像度を提供するために調整することができます。SEMITOOL SST-742-280ツールには、ユーザーがリアルタイムでフォトマスクの詳細を表示できる液晶ディスプレイ（LCD）モニターが含まれています。LCDモニターは、品質管理のためにフォトレジストパターンのフィードバック画像を表示することもできます。このアセットには自動化されたアライメントユニットも含まれており、正確なアライメントを達成するためにマスクがウェーハと正確に並んでいることを保証します。SST-742-280には、ウェーハを加工ステーション間で搬送するコンベアモデルが装備されています。この装置には、個々のウェーハのより効率的な処理を可能にするための剥離機能が含まれています。また、ウエハーとマスクの接触性を向上させるために、テーブルデザインを採用しています。SEMITOOL SST-742-280システムは、正確なフォトリソグラフィのための信頼性が高く柔軟なツールです。ポストエクスポージャー、エッチング、ポストベーク処理をサポートし、ジョブを完了します。このユニットは、プログラマブルロジックコントローラと自己最適化モニターで構築され、ジョブ全体でプロセス設定が一定に保たれるようにします。さらに、このマシンには温度制御された環境が含まれており、フォトレジスト画像の再現性を確保するのに役立ちます。