中古 SEMITOOL SST-642 #293587516 を販売中

SEMITOOL SST-642 Photoresist Equipmentは、フォトレジストを処理するために設計された最先端のシステムです。それは非常に小さく、詳細な特徴が必要である回路基板および他の精密適用の生産で使用されます。このユニットは、真空拡散ポンプを使用して、必要なレベルの清浄度を維持しながら、圧力と温度の低レベルを作成します。真空拡散ポンプは、フォトレジストプロセスの異なる段階で処理チャンバ内の温度と圧力勾配を一定に保つことができ、周囲温度や湿度の変化でも安定した出力を提供します。SST-642には、基板のスピン速度を直接制御する高精度で高解像度のステッピングモータと、機械稼働中の基板加熱および冷却の直接制御も含まれています。ステッピングモータは、フォトレジストを加工する際に極めて精度と精度を確保します。ステッピングモーターはまた基質が部屋全体を通して処理するために部屋の上下両方を動かすことを可能にします。SEMITOOL SST-642には、処理室から汚染された液体を除去するためのポンプアウトツールも付属しています。この資産は、処理される液体から微粒子を除去するために非常に効果的なろ過モデルを利用しており、汚染が基材の侵入および損傷を防ぎます。これはまた、基板が加工されているか、または完了しているプロセスの複雑さに関係なく、チャンバー内の一貫した清浄度を維持するのに役立ちます。SST-642には、プロセスモニタリング中にユーザーがいつでもフォトレジスト層とワークピースへの影響を分析できるように、組み込みのイメージングおよび分析装置も含まれています。この高度なイメージングおよび分析システムは、発生する可能性のある微細な変化を検出し、プロセスのあらゆる不規則性をユーザーに警告することができます。SEMITOOL SST-642は、セラミック材料で裏打ちされたプロセスチャンバーを備えており、プロセス全体のエネルギー損失を最小限に抑えます。ユニット全体が適切にメンテナンスされている場合、最も要求の厳しいアプリケーション向けのフォトレジストの処理において、低ダウンタイムと高効率の実績があります。高度で自動化された機能を備えたSST-642は、フォトレジスト処理において高い精度と一貫性を必要とする精密アプリケーションに最適なソリューションです。