中古 SEMITOOL SST-614-AG #9043971 を販売中

SEMITOOL SST-614-AGは、ウェーハ加工用途向けに設計されたフォトレジスト機器です。シリコンウェーハにフォトレジストソリューションを適用し、開発するために特別に設計された「スタンドアロン」ユニットです。この器械の中心の部品はウェーハの移動の場所、回転スプレートラック、明確な浴室トラック、スピンスプレーヤーおよびAllmightyトラックです。ウェーハ転送ステーションを使用すると、オペレータはシステムから単一のウェーハを手動でロードまたはアンロードできます。この搬送ステーションは、ウェハの向きを垂直および水平に調整することができます。スピンスプレートラックは、フォトレジストソリューションをウェーハに正確にスピンディスペンスできるように設計されています。これはフォトレジストの均一なコーティングを作成し、ウェーハに均一なプロファイルをもたらします。Clear Bath Trackは、水系または非水系の開発者ソリューションで満たされ、洗浄ステーションとして機能する単一の容器で構成されています。バストラック内のスプレーアプリケーターは、ウェーハ全体に開発者ソリューションを均一に広げ、より効率的な写真開発を可能にします。スピンスプレートラックは、Clear Bath Trackと併用して、ウェーハ上に均一なフォトレジストプロファイルを作成することもできます。最後に、Allmightyトラックは、ユニット内のスピンスプレーからレジスト残留物を蓄積し、ユニット外のすすぎタンクをきれいにするためにそれを処分する責任があります。最大12基の標準200mmウェーハを搭載したフィルタリングマシンです。結論として、SST-614-AGはシリコンウェーハ上にフォトレジストソリューションを開発するための完全なフォトレジスト処理ツールです。ウェハトランスファーステーション、スピンスプレートラック、クリアバストラック、スピンスプレーヤー、Allmightyトラックなど多くの機能を備えており、均一で効率的な処理を保証します。このフォトレジスト資産は、生産速度を向上させ、フォトレジスト処理アプリケーションに最適な結果を保証することができます。