中古 SEMITOOL SST 421 #9392447 を販売中

SEMITOOL SST 421は、半導体産業の高度なパターニングプロセスに使用されるフォトレジスト機器です。これは完全に自動化されたシステムで、最も困難なレジストプロセスの多くで、ユーザーに一貫した反復可能な結果を提供します。ユニットには、スピンコートとホットプレートの2つのステージがあります。スピンコートステージは、フォトレジストのスピンコーティングをより大きなウェーハ表面に均一にするための強制エアフロー装置を採用しています。これにより、基板上の反復可能で高品質なフォトレジストパターンが保証されます。スピンコートステージは、複数のレジストタイプをコーティングするための温度制御も備えています。ホットプレートのステージは、加熱でも基板の高いスループットのための大きな加工領域を含みます。この加熱により、クリティカルな寸法とエッジの配置精度が向上します。このツールはまた、便利さを念頭に設計されています。電動基板ステージにより、工具内輸送や基板の取り扱いがスムーズになります。また、ウェーハの積み降ろしを容易にするためのロボット化されたツールもあります。さらに、アセットのタッチスクリーンコントローラは、簡単なセットアップと操作のためのユーザーフレンドリーなプログラミングと制御を提供します。SEMITOOL SST-421には、ウェーハレベルの測定チャンバーが搭載されており、層の厚さやその他のパラメータを監視できます。これにより、高品質のパターニング結果が保証され、プロセス制御と最適化が容易になります。また、リモートモニタリングと制御機能を備えているため、ユーザーは任意の場所からツールを操作してアクセスすることができます。全体として、SST 421は、ユーザーに迅速かつ信頼性の高い結果を提供する高性能フォトレジスト機器であり、半導体製造における高度なパターニングプロセスに最適です。