中古 SEMITOOL SST 421 #9379925 を販売中

SEMITOOL SST 421は、半導体ウェーハ上の集積回路を作るために設計されたフォトレジストバッチ処理装置です。これは、高度なメモリ、ロジック、およびその他の複雑なIC技術で使用されるプロセスに最適化されています。SEMITOOL SST-421は、最高のデバイス歩留まり、サイクルタイムの短縮、および自動構成性を目的に設計されています。独自のUltra Process Technology- UpTech™を使用しており、高度なアルゴリズム、統合プロセスモジュール、およびクイックチェンジスループット機能を組み合わせています。これらにより、ツールはサイクル時間を短縮してスループットを向上させることができます。SST 421は、統合されたモジュラープラットフォームで構成されています。主な4つのコンポーネントは、統合化学供給システム、熱転移室、基板位置決めユニット、およびオンボードコントローラです。統合されたケミカルデリバリーマシンは、ポンプツールに接続された4つの独立して制御されたエアコン付きケミカルタンクで構成されています。SST-421のために利用できる化学タンク構成はそれぞれの独特なプロセスのためにカスタマイズ可能です。この資産には、フォトレジスト、開発者、エッチング剤などのさまざまな化学物質を供給するために必要な複数のポンプとフィルタが含まれています。熱転写チャンバーは、ウェーハ表面全体のプロセス温度の均一性を提供するように設計されています。このチャンバーは、プロセス要件に応じて調整できるヒーターとファンの組み込みモデルを利用しています。基板位置決め装置はウエハハンドリングユニットで、5つの軸を個別に制御可能です。これにより、プロセス中の基板の正確な配置と位置決めが可能になります。このシステムには、化学タンクとの間で基板をピックアップして転送するロボットアームも含まれています。オンボードコントローラは、直感的なユーザーインターフェイスをユーザーに提供するツール用に構築されたカスタムコントローラです。このコントローラを使用すると、ユーザーはレシピをプログラムしたり変更したりできます。コントローラは、リアルタイムのプロセスパラメータを監視することもできます。コントローラはネットワークを介してリンクしてリモートコントロールを可能にすることができます。SEMITOOL SST 421は、半導体デバイスの大量、高精度生産のために設計された革新的なフォトレジスト加工ユニットです。高度なアルゴリズム、統合プロセスモジュール、およびクイックチェンジスループット機能を組み合わせて、スループットの向上とサイクルタイムの短縮を実現します。モジュラーアーキテクチャは構成性を提供し、オンボードコントローラは直感的で硬直的な操作を保証します。