中古 SEMITOOL SST 421 #9292694 を販売中

SEMITOOL SST 421フォトレジストシステムは、さまざまな半導体製造タスクに使用される汎用性と信頼性の高いツールです。基板コーティング、フォトレジスト重合、ストライピングフォトレジスト、エッチング基板が可能です。この機械は、脱イオン水制御、レジストコーティングおよびレジストストリップモジュール、フォトレジストおよびイオンミリングモジュール、および熱酸化オーブンで構成されています。脱イオン水制御モジュールは、正確な量の脱イオン水を提供するように設計された2つの貯水池とポンプを備えています。水は基板を洗浄するだけでなく、他の操作にも使用され、システムの不可欠な部分となっています。レジストコーティングとレジストストリップモジュールは、フォトレジストを含む精密なコーティングソリューションを基板に提供するように設計されています。フォトレジストとイオンミリングモジュールは、それぞれフォトレジストとエッチング基板を重合するように設計されています。これらは、さまざまなプロセスとジオメトリの両方に構成することができます。熱酸化オーブンは、基板上でいくつかの酸化プロセスを行うことができます。また、調節可能な温度設定と急速な発熱体を誇り、ユーザーは単一のサイクルで複数の酸化ステップを完了することができます。全体として、SEMITOOL SST-421は、さまざまな半導体製造タスクに柔軟性と精度を提供します。基板は、脱イオン水を使用して洗浄し、フォトレジストでコーティングし、所定の厚さにスピンすることができます。フォトレジストは、フォトレジストとイオンミリングモジュールで重合し、所望の形状にエッチングすることができます。最後に、基質はオーブンで酸化処理することができます。これにより、複雑な半導体製造プロセスを1サイクルで完了できます。さらに、その柔軟性は、さまざまなプロセスや形状に適応できることを意味し、半導体生産のための信頼性と費用対効果の高いツールとなります。